[发明专利]一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源

权利要求书

1.一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源，其构成如下：半导体激光器迭阵(1)、快轴准直镜(3)和光栅(9)，所述的快轴准直镜(3)是微柱透镜或非球面镜，所述的光栅(9)为Littrow结构，其特征在于，所述的半导体激光器迭阵(1)是由多个相同的半导体激光器线阵(2)层叠而成，每个半导体激光器线阵(2)的快轴方向都设有快轴准直镜(3)；快轴准直镜(3)后有一平凸柱面镜(4)，平凸柱面镜(4)轴线方向与半导体激光器线阵(2)慢轴方向垂直，在平凸柱面镜(4)之后的上方是圆柱反射镜(5)，其下方依次是矩形狭缝(6)，半波片(7)，平凸柱面镜(8)和光栅(9)；所述的平凸柱面镜(4)将向上传播的一路光a，b会聚于圆柱反射镜(5)的轴线处，平凸柱面镜(4)和平凸柱面镜(8)平行共焦点放置，两平凸柱面镜凸面相对，矩形狭缝(6)放置在其焦点处，半波片(7)放置于其焦点与平凸柱面镜(8)之间，光束c，d经过平凸柱面镜(8)后平行地入射到光栅(9)上，其中光栅(9)的一阶衍射光沿原路返回提供反馈，零阶衍射光e，f作为激光输出，光栅(9)反馈实现纵模选择，压窄线宽；

所述的平凸柱面镜(4)和圆柱反射镜(5)构成向上的反馈腔(10)；

所述的平凸柱面镜(4)，矩形狭缝(6)，半波片(7)，平凸柱面镜(8)和光栅(9)构成向下的反馈腔(11)；其中平凸柱面镜(4)和平凸柱面镜(8)形成了一个慢轴准直光学系统，对向下传播的一路光e，f进行准直，准直后平行入射到光栅(9)上；

所述的半导体激光器迭阵(1)后端面、圆柱反射镜(5)、光栅(9)形成一谐振腔(12)。

2.根据权利要求1所述的一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源，其特征是所述的光栅(9)为铜衬底全息光栅。

3.根据权利要求1所述的一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源，其特征是所述的平凸柱面镜(4)和平凸柱面镜(8)是矩形平凸柱面镜，两平凸柱面镜凸面相对。

4.根据权利要求1所述的一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源，其特征是所述的可调狭缝(6)是一个矩形狭缝，狭缝长度固定，与半导体激光器迭阵(1)高度相等，狭缝宽度可调，用来选择半导体激光器迭阵(1)的横模。

5.根据权利要求1所述的一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源，其特征是所述的快轴准直镜(3)、平凸柱面镜(4)、半波片(7)和平凸柱面镜(8)镀有工作波长的增透膜。

6.根据权利要求1所述的一种外腔大功率半导体激光器迭阵光源，其特征是所述的圆柱反射镜(5)和光栅(9)镀有工作波长的增反膜。