[发明专利]叠层脉冲半导体激光器光束准直方法

权利要求书

1.一种叠层脉冲半导体激光器光束准直方法，采用准直透镜对光束做准直处理，以提高耦合效率，其特征在于，采用准直透镜保持架(6)，将其垂直竖置在热沉(7)上，叠层脉冲半导体激光器(2)中的每个单管(1)的发光区与准直透镜保持架6上的一个V形槽(8)相对；采用一个精密调整架夹住准直透镜保持架(6)，调整其姿态，直到准直透镜保持架(6)矩形平面与叠层脉冲半导体激光器(2)发光面平行；采用另一个精密调整架夹住一个准直柱透镜(5)，将其横置于一个V形槽(8)中，精密调整其空间位置，同时对准直透镜保持架(6)的姿态做适应性调整，直到经准直柱透镜(5)出射的光束快轴方向发散角为1～3°；用粘接剂将准直透镜保持架(6)固定在热沉(7)上，将准直柱透镜(5)固定在V形槽(8)中；随之逐一完成每一个准直柱透镜(5)在V形槽8中的位置调整和固定。

2.根据权利要求1所述的准直方法，其特征在于，准直透镜保持架(6)是一个矩形框，通过在一个矩形GaAs片中间采用光刻技术刻蚀掉一个矩形部分制成；在矩形的两个长边的一侧等距刻出若干组V形槽(8)，分别与叠层脉冲半导体激光器(2)中的若干单管(1)相对，用来放置准直柱透镜(5)。

3.根据权利要求1所述的准直方法，其特征在于，采用5个单管(1)，每个单管(1)的厚度为100±10μm，相邻单管(1)之间焊层(4)厚度为15±5μm。

4.根据权利要求1所述的准直方法，其特征在于，准直柱透镜(5)采用光纤柱透镜。