[发明专利]硅整流器件的电泳法玻璃钝化工艺

权利要求书

1.一种硅整流器件的玻璃钝化方法，该方法包括以下工艺步骤：

(1).将扩散后硅片在高温1120℃下分别通干氧、湿氧、干氧，生成氧化膜；

(2).再将氧化后硅片进行包括涂胶、前烘、曝光、显影以及坚膜的光刻过程，做好光刻图形；

(3).将硝酸、氢氟酸、乙酸按以下比例配制成混酸腐蚀液：

硝酸：          30～65％

氢氟酸：        15～30％

乙酸：          10～45％

然后将光刻后的硅片放入所述混酸腐蚀液中进行腐蚀，刻蚀出PN结沟槽，并去胶清洗；

(4).配制电泳液：将丙酮、玻璃粉、硝酸按照以下比例配制成电泳液：

丙酮：          80～97％

玻璃粉：        2～19％

硝酸：          0.005～1％

(5).将装有电泳液的石英方杯放置在电泳装置中，启动超声波进行超声15min，再进行电泳5min的电泳处理，使玻璃粉沉积到硅片的沟槽中；

(6).将电泳后的硅片在温度为820℃的氧气氛围下进行玻璃烧成。