[发明专利]基于显微干涉和有限差分的微/纳悬臂梁的曲率测量方法有效
| 申请号： | 200710057124.3 | 申请日： | 2007-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN101046371A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 栗大超;黄玉波;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;B81C5/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 显微 干涉 有限 悬臂梁 曲率 测量方法 | ||
【权利要求书】：
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