[发明专利]微电子产品用蜡及其制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及工业用蜡，尤其涉及一种微电子产品加工时，利用其起粘合作用的微电子产品用蜡及其制备方法。

背景技术

微电子元器件在进行表面抛光时，需要将待抛光的产品与抛光盘之间均匀的涂上一层薄薄的蜡，利用蜡的粘合性，牢牢的使待抛光的产品沾在抛光盘上，使其在抛光过程中不产生滑动，以达到抛光的效果，因此，低温蜡对于微电子产品的表面加工质量起着决定性的影响作用。

现有的微电子产品表面加工使用的低温粘合蜡、中温粘合蜡以及高温粘合蜡存在的缺陷包括，由于杂质含量过高，且用人工搅拌各种组分不能充分搅拌混合，致使蜡的整体粘合性能下降，出现生产过程中涂抹和粘连不均匀和不平整的问题；该低温粘合蜡、中温粘合蜡以及高温粘合蜡的制备中采用人工控制温度和搅拌，操作条件存在误差，对成品蜡的质量影响很大，例如：搅拌不均匀会造成各种组分熔解不够充分；温度控制不准确，若过高会造成蜡被焦化等现象。

有鉴于此，设计一种微电子产品用蜡的合理配方，并改进其制备方法确有必要。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有产品存在的上述缺点，而提供一种微电子产品用蜡及其制备方法，该蜡使用无毒的环保型原料制备，有利于维护生产操作人员的身体健康，而且不易燃、安全性好、便于使用和运输；生产过程中的加温和搅拌通过自动控制装置调整，提升产品的稳定性、一致性和可靠性；在千级超净生产环境中生产，避免加工过程中引入外来污染物及灰尘颗粒等，有效提高产品纯度，保证微电子产品表面抛光的质量。

本发明的目的是由以下技术方案实现的。

本发明微电子产品用蜡，其特征在于，包括：巴西蜡、松香、黄蜂蜡、卡那巴蜡、微晶蜡；其中，巴西蜡的重量百分比为30％至40％，松香的重量百分比为10％至15％，黄蜂蜡的重量百分比为10％至15％，卡那巴蜡的重量百分比为10％至15％，其余组分为微晶蜡。

本发明微电子产品用蜡，其特征在于，包括：巴西蜡、松香、黄蜂蜡、卡那巴蜡、聚乙烯蜡以及微晶蜡；其中，巴西蜡的重量百分比为30％至40％，松香的重量百分比为10％至15％，黄蜂蜡的重量百分比为10％至15％，卡那巴蜡的重量百分比为10％至15％，聚乙烯蜡的重量百分比为20％至30％，其余组分为微晶蜡。

本发明如权利要求1所述的微电子产品用蜡的制备方法，其特征在于，在千级超净环境内，将混合搅拌釜加热至90℃以上，加入巴西蜡，搅拌数分钟；当巴西蜡受热溶化后加入黄蜂蜡、卡那巴蜡及微晶蜡，升温继续搅拌数分钟；当黄蜂蜡、卡那巴蜡及微晶蜡受热溶化后加入松香，再次升温搅拌数分钟；当加入的原料充分溶化并搅拌均匀后，停止加热；釜内温度降至70至80℃时，将液态蜡倒至磨具中，静置数小时；当蜡降低至室温时，由液态变至固态，将其从模具中取出，包装入库。

前述的微电子产品用蜡的制备方法，其特征在于，所述搅拌时间为10分钟以下；所述液态蜡在磨具中的静置时间为2至5小时。

前述的微电子产品用低温蜡的制备方法，其特征在于，所述千级超净环境的条件是1000个灰尘颗粒/m²；所述加热装置为高温加热炉。

本发明如权利要求2所述的微电子产品用蜡的制备方法，其特征在于，在千级超净环境内，将混合搅拌釜加热至90℃以上，加入巴西蜡，搅拌数分钟；当巴西蜡受热溶化后加入黄蜂蜡、卡那巴蜡、聚乙烯蜡及微晶蜡，升温继续搅拌数分钟；当黄蜂蜡、卡那巴蜡、聚乙烯蜡及微晶蜡受热溶化后加入松香，再次升温搅拌数分钟；当加入的原料充分溶化并搅拌均匀后，停止加热；釜内温度降至70至80℃时，将液态蜡倒至磨具中，静置数小时；当蜡降低至室温时，由液态变至固态，将其从模具中取出，包装入库。

前述的微电子产品用蜡的制备方法，其特征在于，所述搅拌时间为10分钟以下；所述液态蜡在磨具中的静置时间为2至5小时。

前述的微电子产品用低温蜡的制备方法，其特征在于，所述千级超净环境的条件是1000个灰尘颗粒/m²；所述加热装置为高温加热炉。