[发明专利]六氟化钨气体的制备方法

权利要求书

1.一种六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：将氟气与高纯氮按1∶0.5～20重量比混合通入裂解器(9)中，预热温度为10℃～100℃，压力为0～0.6MPa，时间为1min～20min，然后进入反应器(10)，反应器(10)内有5～15Kg原料钨，反应器(10)中氟气与原料钨的反应温度为20℃～400℃，反应时间为1min～20min，所制备的六氟化钨气体由低温收集器(11)在-70℃～0℃下液化收集，通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质，低温收集器(11)中收集10kg～50kg的WF₆气体后，停止收集并升温到20℃～100℃将WF₆气体压入钢瓶保存，所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。

2.根据权利要求1所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的氟气的纯度为99％以上，其中水的含量在1ppmv以下，HF杂质的含量在50ppmv以下。

3.根据权利要求1所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的氟气用NF₃气体代替，NF₃气体与高纯氮的重量比为1∶0.2～5，NF₃裂解温度为200℃～600℃，压力0MPa～0.6MPa，气体滞留时间为1min～20min。

4.根据权利要求3所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的NF₃气体的纯度在99.9％以上，其中H₂O和HF杂质的含量要求在5ppmv以下。

5.根据权利要求1所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的原料钨为颗粒状或粉末状，其颗粒度为1～100目；原料钨的纯度在99.9％以上。

6.根据权利要求1所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的低温收集器(11)液化收集WF₆气体时的温度为-70～0℃；压力为-0.1～0.6MPa。

7.根据权利要求1所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的裂解器(9)和反应器(10)的材料为碳钢、不锈钢、铜、镍或蒙乃尔合金。

8.根据权利要求1所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的低温收集器(11)的材料为不锈钢、铜、镍或蒙乃尔合金。

9.根据权利要求1所述的六氟化钨气体的制备方法，其特征在于：所述的连接裂解器(9)、反应器(10)和低温收集器(11)之间的管道的材料为镍或蒙乃尔合金。