[发明专利]三轴热对流加速度传感器

权利要求书

1.三轴热对流加速度传感器，包括内部设置有以气体作为敏感元件的封闭腔体、设置在封闭腔体内的有引线与外界连通的加热器、温度传感器，其特征在于：加热器位于封闭腔体中心，在封闭腔体内的X、Y、Z三个轴向上分别设置有特性相同的、等距离对称布置的温度传感器。

2.根据权利要求1所述的三轴热对流加速度传感器，其特征在于所述温度传感器分三层设置，第1层和第3层分别为Z轴方向上的温度传感器，第2层的前后是Y轴方向的温度传感器，左右为X轴方向的温度传感器。

3.根据权利要求1所述的三轴热对流加速度传感器，其特征在于所述加热器为中心对称的图形。

4.根据权利要求3所述的三轴热对流加速度传感器，其特征在于所述加热器的形状为方形、圆形或者对称的多边形的其中一种。

5.根据权利要求1或2所述的三轴热对流加速度传感器，其特征在于所述温度传感器为热敏电阻、热电偶、热电堆的其中一种。