[发明专利]一种射频匹配器的传感器的鉴相装置和方法

权利要求书

1.一种射频匹配器的传感器的鉴相装置，应用于射频匹配器的传感器中，用于检测射频负载阻抗的相位，其特征在于，包括：

信号处理采样电路，用于获取射频传输线上的电压与电流信号，并对所采集的正弦波的电压与电流信号进行处理输出方波信号至边沿触发鉴频鉴相器PFD；

边沿触发鉴频鉴相器PFD，根据输入的方波电压与电流信号经过鉴频鉴相处理，输出脉冲控制信号至放大滤波电路；

放大滤波电路，对输入的脉冲控制信号进行放大运算处理，并通过低通滤波器输出平均电压控制信号。

2.根据权利要求1所述的射频匹配器的传感器的鉴相装置，其特征在于，所述的信号处理采样电路包括异或门，将所采集的正弦波的电压与电流信号处理为方波信号。

3.根据权利要求1所述的射频匹配器的传感器的鉴相装置，其特征在于，所述的PFD包括两个具有复位功能的D触发器及一个与门；所述的方波电压与电流信号分别作为两个D触发器的时钟脉冲CP，两个D触发器的输出端接与门的输入端，与门的输出端接两个D触发器的复位端。

4.根据权利要求1所述的射频匹配器的传感器的鉴相装置，其特征在于，所述的放大滤波电路包括差分放大电路与低通滤波器。

5.一种射频匹配器的传感器的鉴相方法，其特征在于，包括，

A、获取射频传输线上的电压与电流信号，并对所采集的正弦波的电压与电流信号进行处理输出方波电压与电流信号；

B、根据输入的方波电压与电流信号经过鉴频鉴相处理，输出脉冲控制信号；

C、对输入的脉冲控制信号进行放大运算处理，输出平均电压控制信号。

6.根据权利要求5所述的射频匹配器的传感器的鉴相方法，其特征在于，所述的步骤A包括，采用异或门将所采集的正弦波的电压与电流信号处理为方波信号。

7.根据权利要求5所述的射频匹配器的传感器的鉴相方法，其特征在于，所述的步骤C包括：

对输入的脉冲控制信号通过差分放大器，进行放大运算处理，并通过低通滤波器输出平均电压控制信号。