[发明专利]精密双面抛光机的上抛光盘传动机构

权利要求书

1、一种精密双面抛光机的上抛光盘传动机构，包括机架、安装在机架上的驱动装置，所述驱动装置带有活塞杆，所述的活塞杆与上抛光盘连接，其特征在于：所述的驱动装置连接用于调节加载压力大小的压力调节阀，在所述的活塞杆与上抛光盘的连接处安装压力传感器；所述的上抛光盘传动机构还包括用于接收压力传感器的信号，并将压力传感器的压力值与预设的工作压力比较，选择性地向压力调节阀发出增大或减小压力指令的上抛光盘压力控制器，所述的压力调节阀、压力传感器连接上抛光盘压力控制器。

2、如权利要求1所述的精密双面抛光机的上抛光盘传动机构，其特征在于：所述的驱动装置为气缸，所述气缸包括上室、下室以及活塞，活塞连接活塞杆，所述上室与上气管连通，所述下室与下气管连通，所述的上气管、下气管分别与大气连通、同时与压力调节阀连通。

3、如权利要求1或2所述的精密双面抛光机的上抛光盘传动机构，其特征在于：上抛光盘与气缸活塞杆浮动连接。

4、如权利要求3所述的精密双面抛光机的上抛光盘传动机构，其特征在于：所述的气缸活塞杆通过浮动接头与上抛光盘连接，所述浮动接头为球弧面的球轴承。

5、如权利要求4所述的精密双面抛光机的上抛光盘传动机构，其特征在于：所述的气缸活塞杆与连接杆连接，所述的连接杆与压力传感器连接，所述压力传感器连接转动轴，所述转动轴连接在球弧面的球轴承，所述球轴承与上抛光盘支架连接。