[发明专利]一种光学干涉测量装置及其方法

权利要求书

1.一种光学干涉测量装置，其特征在于它包括激光器(1)、第一反射镜(2)、第一半透半反分束器(3)、第二反射镜(4)、相位调制组件(5)、第一探测器(6)、第一差分器(7)、相关器(8)，激光器(1)产生的相干光束经过第一半透半反分束器(3)分成两个相干光束，其中一个相干光束经过第一反射镜(2)的移动产生一个相位变化，另一个相干光束经过第二反射镜(4)进入相位调制组件(5)，然后两个相干光束经过的第一半透半反分束器(3)输出两个干涉光束，两个干涉光束经过第一探测器(6)的探测变成电信号，电信号经过第一差分器(7)和相关器(8)实现对相位变化的测量；所述的相位调制组件(5)是一个带有光锁相环控制单元的相位调制机构，它包括分束器(9)、第二半透半反分束器(10)、第二探测器(11)、第二差分器(12)、放大器(13)、环路滤波器(14)、控制信号发生器(15)、赝随机码产生器(16)、相位调制器(17)，相干光束经过相位调制器(17)前后的两个分束器(9)的作用，产生的两个相干光束经过第二半透半反分束器(10)输出两个干涉光束，两个干涉光束经过第二探测器(11)的探测变成电信号，电信号经第二差分器(12)，放大器(13)、环路滤波器(14)产生一个控制信号，控制信号和赝随机码产生器(16)产生的赝随机码序列经过控制信号发生器(15)产生一个驱动信号对相位调制器(17)进行驱动。

2.一种使用如权利要求1所述装置的光学干涉测量方法，其特征在于包括如下步骤：

1)将一个取样周期划分为N个时隙；

2)将每个时隙划分为M个相位单元，这些相位单元中的相位均匀分布在[0，2π]范围；

3)N个时隙中随机变化的相位形成N个长度为M的赝随机序列

4)第N个时隙的相位随机序列满足：

3.如权利要求2所述的一种光学干涉测量方法，其特征在于所述的赝随机码序列是一种最大长度线性反馈移位序列，即M-序列。