[发明专利]一种静压导轨直线度的调节方法

说明书

技术领域

本发明属于机械制造类，具体是一种静压导轨直线度的调节方法。

背景技术

机械加工中，直线度的误差控制技术是一项基础技术，而静压导轨又是精密和超精密机床的组成部分，由于制造过程中的误差是不可避免的，所以如何对这部分误差进行补偿，从而控制静压导轨运动的直线度显得尤其重要。本人申请的专利“一种采用多头定量泵的静压导轨”(专利申请号为200610052426.7)在每个静压油腔与其静压油泵间安装一溢流器，通过调节溢流器出油口的截面面积来调整滑块与定导轨间隙，从而保持滑块运动的直线度，这种方法虽然在一定范围内有效，但在实际制造中，导轨直线度误差在0.3微米以下时调节显得比较困难。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术的不足，提供一种调节精度更高、更可靠的静压导轨直线度的调节方法。

本发明的技术方案如下：

一种静压导轨直线度的调节方法，该静压导轨包括动导轨、定导轨，动导轨与定导轨间由静压油膜隔离，其特征在于：当动导轨在定导轨上运动时，以动导轨运动时最低点为基准点，测出动导轨运动时各点在高度方向的直线度误差；在定导轨上装副导轨，副导轨的运动方向与动导轨相同，并与动导轨作同步运动，副导轨上装电磁线圈，在动导轨相应位置上装有电磁铁芯；根据测出的动导轨上各点相对于基准点的高度误差值，测出各点下压到基准点时所需的力，计算出电磁铁芯产生该吸力所需要的电流电压值；副导轨的电磁线圈上通以各点对应的电流电压值，电磁铁芯各点所受的电磁力使动导轨上各点始终在基准点平直的直线上运动。

本发明通过在定导轨上安装带有电磁线圈的副导轨，相应的动导轨上安装电磁铁芯，通上电流电压后电磁铁芯产生吸力使动导轨各点受力，并始终保持在与定导轨基准点平直的直线上运动，从而控制动导轨与定导轨之间的直线度误差。本发明调节直线度精度高，科学合理。

附图说明

图1为本发明示意图。

具体实施方式

如图1所示，一种静压导轨直线度的调节方法，该静压导轨包括动导轨1、定导轨2，动导轨1与定导轨2间由静压油膜3隔离，具体步骤是：当动导轨1在定导轨2上运动时，以动导轨1运动时最低点为基准点，测出动导轨1运动时各点在高度方向的直线度误差；在定导轨2上装副导轨4，副导轨4的运动方向与动导轨1相同，并与动导轨1作同步运动，副导轨4上装电磁线圈5，在动导轨1相应位置上装有电磁铁芯6；根据测出的动导轨1上各点相对于基准点的高度误差值，测出各点下压到基准点时所需的力，计算出电磁铁芯6产生该吸力所需要的电流电压值；副导轨4的电磁线圈5上通以各点对应的电流电压值，电磁铁芯6各点所受的电磁力使动导轨1上各点始终在基准点平直的直线上运动。

本发明也可同理在水平方向布置一组副导轨和相应的电磁线圈、电磁铁芯以控制在水平方向上的直线度误差。

本发明的动导轨1与定导轨2间也可由静压气膜隔离。