[发明专利]多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统无效
申请号: | 200710070535.6 | 申请日: | 2007-08-23 |
公开(公告)号: | CN101158549A | 公开(公告)日: | 2008-04-09 |
发明(设计)人: | 徐芳华;孙海梁;高杰;卫国军 | 申请(专利权)人: | 浙江精工科技股份有限公司;绍兴县精工机电研究所有限公司 |
主分类号: | F27B14/20 | 分类号: | F27B14/20 |
代理公司: | 浙江翔隆专利事务所 | 代理人: | 戴晓翔 |
地址: | 312030浙江省绍兴县*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 溢流 保护 系统 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统,包括炉体(1),置于炉体(1)内底部带保温底板(6)的保温笼体(5),置于保温笼体(5)内带石英坩埚(2)和石墨坩埚(3)的热交换台(4),其特征在于石墨坩埚(3)的底部两边开设有导流沟(13),保温底板(6)的两边开设有导流孔(14),炉体(1)的底部与导流孔(14)的对应位置设有硅液溢流承接容器(7),硅液溢流承接容器(7)内设有带控制器(9)的金属熔断丝(8)。
2.按权利要求1所述多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统,其特征在于所述炉体(1)的底部还设有岩棉(10),硅液溢流承接容器(7)置于岩棉(10)上。
3.按权利要求2所述多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统,其特征在于所述岩棉(10)的中部还设有中心护套(12)和凸台套管(11)。
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