[发明专利]基于电容测量原理的平面电容传感器无效
| 申请号： | 200710071226.0 | 申请日： | 2007-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101118148A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 王文;李欣欣;陈子辰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01D5/241 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 林怀禹 |
| 地址： | 310027浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 电容 测量 原理 平面 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.基于电容测量原理的平面电容传感器，其特征在于：它包括平面电容上极板(1)与平面电容下极板(2)，平面电容下极板(2)设有边长为a的正方形电容极板(3)，且两两相邻的正方形电容极板(3)间距为正方形边长，平面电容上极板(1)设有与平面电容下极板(2)的电容极板形状相同的四块X向电容极板(4、4’、5、5’)，以及四块Y向电容极板(6、6’、7、7’)，X向电容极板包括一组第一、第二测量极板(4、4’)和另一组第三、第四测量极板(5、5’)，且两组间在X向上相位差为90度，间距为1.5a，每组电容极板间的边线对齐，在Y方向上的间距为2a，一组与另一组边线对齐；Y向电容极板包括一组第五、第六测量极板(6、6’)和另一组第七、第八测量极板(7、7’)，且两组间在Y向上相位差为90度，间距为1.5a，每组电容极板间的边线对齐，在X方向上的间距为2a，一组与另一组边线对齐。
2、根据权利要求1所述的基于电容测量原理的平面电容传感器，其特征在于：所述的电容极板为表面覆盖有金属层的极板。
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