[发明专利]平板夹心结构的半导体式气体传感器及其制造方法无效
| 申请号： | 200710071957.5 | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101021501A | 公开（公告）日： | 2007-08-22 |
| 发明（设计）人： | 施云波;郭建英;张洪泉;丁喜波;冯侨华;时强 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H01L21/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人： | 毕志铭 |
| 地址： | 150080黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平板 夹心 结构 半导体 气体 传感器 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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