[发明专利]微阵列轴孔的组合加工方法

权利要求书

1、微阵列轴孔的组合加工方法，其特征在于它由下列步骤完成：

步骤一：将工件电极(5)安装在机床主轴(1)上，工件电极(5)为阳极，加工工具(6)为阴极，工件电极(5)与加工工具(6)设置在机床的工作平台上的电解液槽(2)内的电解液中，采用脉冲电源(3)供电，工件电极(5)与加工工具(6)进行相对靠近的移动，通过电压电流检测装置(4)对电压进行检测，当两极间电压为零，工件电极(5)和加工工具(6)完成接触感知，设置加工初始距离，主轴(1)带动工件电极(5)作绕轴心的旋转运动，通过电解加工工艺过程将工件电极(5)制作成微细电极；

步骤二：用平板电极(7)替换加工工具(6)，交换脉冲电源(3)的正负极，则平板电极(7)为阳极，上述步骤加工后的工件电极(5)为阴极，所述的平板电极(7)通过超声波发生装置(11)的换能器(10)支撑水平放置在电解液槽(2)内的电解液中，工件电极(5)与平板电极(7)进行相对靠近的移动，通过电压电流检测装置(4)对电压进行检测，当两极间电压为零，工件电极(5)和平板电极(7)完成接触感知，设置加工初始距离，主轴(1)带动工件电极(5)作三轴运动，通过电解加工工艺过程在平板电极(7)上加工微阵列母孔，并在加工过程中通过超声波发生装置(11)的换能器(10)进行复合超声振动；

步骤三：用圆柱电极(8)替换已加工成微细电极的工件电极(5)，交换脉冲电源(3)的正负极，则圆柱电极(8)为阳极，带有微阵列母孔的平板电极(7)为阴极，用带有微阵列母孔的平板电极(7)通过电火花加工将圆柱电极(8)制作成微细阵列轴，并在加工过程中通过超声波发生装置(11)的换能器(10)进行复合超声振动；

步骤四：用不锈钢薄片(9)替换带有微阵列母孔的平板电极(7)，交换脉冲电源(3)的正负极，则不锈钢薄片(9)为阳极，已加工成微阵列轴的圆柱电极(8)为阴极，用已加工成微阵列轴的圆柱电极(8)在不锈钢薄片(9)上采用与步骤二相同的电解方法加工微阵列孔。