[发明专利]石英热敏谐振器

权利要求书

1、一种石英热敏谐振器，它包括管壳(1)，设置在管壳内的石英晶体片(2)，其特征是：石英晶体片的形状为有切角的长方体，在其厚度方向的两侧表面(4)上以蒸发或溅射法分别制作有电极(5)，电极(5)的形状为带有引线的长方形，电极(5)的边缘(6)呈波纹状，在石英晶体片上的电极(5)的周围分别均匀地分布有质量分散加载金属膜块群(7)，在石英晶体片长度方向、并平行于石英晶体片宽度的方向上有分别向内侧切入的V形切口(8)，在石英晶体片的既没有布设电极也没有质量分散加载金属膜块群的区域有孔阵列(9)，石英晶体片通过管脚(10)引出，所述的电极包括金属激励电极和接收电极。

2、根据权利要求1所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的孔阵列(9)是利用各向异向刻蚀或超声打孔法、激光打孔法制作的盲孔阵列，该盲孔的深度逐渐变深，满足指数函数关系。

3、根据权利要求1所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的孔阵列(9)是利用各向异向刻蚀法或超声打孔法制作的通孔阵列，通孔的直径应大于或等于石英晶体片(2)的厚度。

4、根据权利要求1、2或3所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的电极(5)的边缘(6)呈波纹状的波纹的重复周期相等。

5、根据权利要求1、2或3所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的电极(5)的边缘(6)呈波纹状的波纹的各电极边缘波纹的重复周期不相等，它们的重复周期根据被抑制的寄生模式设计和制作。

6、根据权利要求1、2或3所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的金属激励电极和接收电极是金、银或铝金属，或者Cr-Au、Cr-Ag合金材料制成的电极。

7、根据权利要求4所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的金属激励电极和接收电极是金、银或铝金属，或者Cr-Au、Cr-Ag合金材料制成的电极。

8、根据权利要求5所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的金属激励电极和接收电极是金、银或铝金属，或者Cr-Au、Cr-Ag合金材料制成的电极。

9、根据权利要求1、2或3所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的在管壳(1)的顶部和管壳周围的内表面涂敷有红外线高辐射涂层(13)，涂层的材料是添加稀土元素La₂O₃的镍钴系红外辐射陶瓷粉涂敷层、铁锰酸稀土钙红外涂敷层、α-Fe₂O₃陶瓷红外涂敷层或碳化硅粉红外涂敷层中的一种。

10、根据权利要求6所述的石英热敏谐振器，其特征是：所述的在管壳(1)的顶部和管壳周围的内表面涂敷有红外线高辐射涂层(13)，涂层的材料是添加稀土元素La₂O₃的镍钴系红外辐射陶瓷粉涂敷层、铁锰酸稀土钙红外涂敷层、α-Fe₂O₃陶瓷红外涂敷层或碳化硅粉红外涂敷层中的一种。