[发明专利]有机发光二极管制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种有机发光二极管(Organic Light EmittingDiode，OLED)制造方法。

背景技术

近年来，有机发光二极管以其独特的优势，如制造方法简单、功耗低、颜色丰富、适用于柔性衬底与大面积显示等，备受业界关注。

请参阅图1，是一种现有技术有机发光二极管的剖视图。该有机发光二极管10通常包括一基板11、自下而上依次层叠设置在该基板11上的一阳极12、一空穴注入层(Hole Injection Layer，HIL)13、一空穴传输层(Hole Transfer Layer，HTL)14、一有机发光层15、一电子传输层(Electron Transfer Layer，ETL)16、一电子注入层(Electron Injection Layer，EIL)17与一阴极18。

该有机发光二极管10的工作原理如下所述：在该有机发光二极管10的阳极12与阴极18之间施加正向偏置的电压，该阳极12的空穴在正向偏压作用下经该空穴注入层13与该空穴传输层14注入该有机发光层15，而该阴极18的电子在正向偏压作用下经该电子传输层16与该电子注入层17注入该有机发光层15，该阳极12注入的空穴与该阴极18注入的电子在该有机发光层15相结合而激发出光子，该有机发光二极管10向外界发光。

该阳极12的空穴注入该有机发光层15需克服该阳极12与该有机发光层15间的能障，通常该阳极12的功函数(WorkFunction)越高，其空穴注入该有机发光层15的能障越低，则该有机发光二极管10开始发光的启动电压越低。为提高该阳极12的功函数，业界通常采用功函数较高的氧化铟锡(Indium TinOxide，ITO)薄层制作该阳极12，并对该阳极12的表面进行氧等离子或紫外线/臭氧处理，以提高氧化铟锡层的含氧量，进而提高该阳极12的功函数。

请参阅图2，是图1所示有机发光二极管10的阳极12经处理后的剖视图。该阳极12包括一第一电极121与一第二电极122，该第二电极122的厚度远小于该第一电极121的厚度，该第二电极122是该阳极12的表面经氧等离子或紫外线/臭氧处理后形成的薄层，其含氧量高于该第一电极121。

然而，利用氧等离子或紫外线/臭氧对该阳极12的表面进行处理的方法，仅能提高该阳极12表面的含氧量，形成厚度很薄的第二电极122，所以氧等离子或紫外线/臭氧处理该阳极12表面的方法对该阳极12功函数的提高有限，且用氧等离子对氧化铟锡薄层表面处理的均匀度不高，导致该有机发光二极管10第二电极121的功函数不等，进而导致同一驱动电压作用下，该有机发光二极管10的发光不均匀。

发明内容

为了解决现有制造方法制造的有机发光二极管阳极功函数较低且发光不均匀的缺点，提供一种阳极功函数较高且发光均匀度较好的有机发光二极管制造方法实为必要。

一种有机发光二极管制造方法，其包括以下步骤：提供一绝缘基板；在该绝缘基板上沉积一导电薄层，作为第一电极，该导电薄层的材料为氧化铟锡或氧化铟锌；在该第一电极上继续沉积该导电薄层，同时通入含氧的氧化性气体，形成第二电极，图案化该第一电极与第二电极，形成阳极；在该阳极上形成一有机发光层；在该有机发光层上形成一阴极。

采用上述制造方法的有机发光二极管，可在该阳极沉积过程中通入含氧的氧化性气体，使该阳极内部与表面的含氧量皆增加，进而使形成的有机发光二极管阳极功函数较高。同时，上述制造方法可控制含氧的氧化性气体的流量，所以可保证有机发光二极管阳极的含氧量均匀，进而使有机发光二极管发光均匀。

附图说明

图1是一种现有技术有机发光二极管的剖视图。

图2是图1所示有机发光二极管的阳极经处理后的剖视图。

图3是本发明有机发光二极管制造方法一较佳实施方式的流程图。

具体实施方式

请参阅图3，是本发明有机发光二极管制造方法一较佳实施方式的流程图。该有机发光二极管制造方法包括以下步骤：提供一基板(S1)；形成第一电极(S2)；形成阳极(S3)；形成空穴注入层与空穴传输层(S4)；形成有机发光层(S5)；形成电子注入层与电子传输层(S6)；形成阴极(S7)。各步骤详述如下：

步骤S1，提供一基板。提供的基板用于承载有机发光二极管，其材料可为玻璃、石英等透明绝缘物质。