[发明专利]碳纳米管复合热界面材料的制备方法

权利要求书

1.一种碳纳米管复合热界面材料的制备方法，其包括以下步骤：

提供一基底，其上形成有碳纳米管阵列；

将熔化的第一填充材料填充入碳纳米管阵列的空隙中，该第一填充材料为石蜡，凝固第一填充材料与碳纳米管阵列得到第一复合材料；

提供一第二填充材料，该第二填充材料为金属材料，第二填充材料的熔点高于第一填充材料的熔点，将熔化的第二填充材料注入到第一复合材料的表面，待第一填充材料被熔化的第二填充材料完全熔化，第二填充材料排挤第一填充材料而使得第一填充材料从碳纳米管阵列的空隙中流出后，凝固第二填充材料与碳纳米管阵列，从而得到由碳纳米管与第二填充材料复合的碳纳米管复合热界面材料。

2.如权利要求1所述的碳纳米管复合热界面材料的制备方法，其特征在于，所述第二填充材料为铟、铜或钛。

3.如权利要求1所述的碳纳米管复合热界面材料的制备方法，其特征在于，在将熔化的第一填充材料填充入碳纳米管阵列的空隙过程中，利用超声波对熔化的第一填充材料进行震荡。

4.如权利要求1所述的碳纳米管复合热界面材料的制备方法，其特征在于，进一步包括对所得到的碳纳米管复合热界面材料进行表面处理使得其中的碳纳米管阵列至少一端伸出第二填充材料。

5.如权利要求4所述的碳纳米管复合热界面材料的制备方法，其特征在于，所述表面处理方法包括机械抛光法、化学-机械抛光法、湿化学蚀刻法、电化学蚀刻法或电浆蚀刻法。