[发明专利]微型液体冷却系统及其微型流体驱动装置

权利要求书

1.一种微型液体冷却系统，包括一吸热体、一散热体及若干传输管，其特征在于：还包括一微液滴产生器及一压电泵，所述传输管将该吸热体、散热体、微液滴产生器及压电泵串接形成一回路，该回路中填充有冷却液，该冷却液在该微液滴产生器及压电泵的共同驱动作用下在该回路中循环流动，该压电泵包括一第一板体及盖设于该第一板体上的一第二板体，该第一板体上设有一微流道，该微流道包括一入口段、一出口段及将该入口段与出口段连通的一腔体部，该第一板体对应腔体部的位置形成有一隔膜，该隔膜的底部设有一压电膜，冷却液在该微流道中由入口段向出口段流动，所述入口段、腔体部及出口段的横截面积的大小均沿冷却液的流动方向递减，所述微流道的横截面积从入口段进入腔体部时突然变大，所述微流道的横截面积从腔体部进入出口段时突然变大，使冷却液在该微流道中实现单向流动。

2.如权利要求1所述的微型液体冷却系统，其特征在于：该腔体部、出口段及入口段的最大横截面积依次递减。

3.如权利要求1所述的微型液体冷却系统，其特征在于：该隔膜为一三角形，该压电膜为一圆柱形，该压电膜设于该隔膜的中部。

4.如权利要求1至3项中任意一项所述的微型液体冷却系统，其特征在于：该微液滴产生器集成在该压电泵的第一板体及第二板体上，所述微液滴产生器包括一设于该第一板体上的液滴通道、呈间隔设于所述液滴通道内的若干控制电极及第二板体上对应所述控制电极所设的一参考电极层，所述液滴通道位于压电泵的入口段的前端，其入口与传输管相接，所述控制电极与参考电极层通过一控制电路电连接，通过控制电路规律性地对各控制电极施加电压，自传输管进入液滴通道的冷却液产生出液滴并沿液滴通道向压电泵的入口段运动。

5.如权利要求1所述的微型液体冷却系统，其特征在于：该微液滴产生器包括一第一极板及盖设于该第一极板上的一第二极板，该第一极板与第二极板之间形成有一液滴通道，该液滴通道的一端与另一端分别设有一进液口与一出液口，该第一极板上对应该液滴通道间隔设置有若干控制电极，该第二极板上对应所述控制电极设有一参考电极层，该参考电极层与这些控制电极通过一控制电路电连接，通过控制电路规律性地对各控制电极施加电压，自进液口进入的冷却液将产生出液滴并沿液滴通道向出液口运动。

6.如权利要求5所述的微型液体冷却系统，其特征在于：该微液滴产生器还包括一第一端盖及一第二端盖，该第一极板的两端对应第一、第二端盖分别设有第一、第二凹槽，该第一、第二端盖分别收容在该第一、第二凹槽内并将第二极板夹设于该第一、第二端盖之间以将该微液滴产生器的两端密封。

7.如权利要求5所述的微型液体冷却系统，其特征在于：该第一极板上设有一储液槽，该第一极板上沿该液滴通道的延伸方向设有一沟槽，该沟槽的一端与储液槽相连通，另一端与出液口连通。

8.一种微型流体驱动装置，其特征在于：包括一微液滴产生器及一压电泵，所述微液滴产生器与压电泵串联连接，该微液滴产生器将流体产生出液滴并驱动该液滴往压电泵运动，该压电泵内设置有接收液滴的微流道，该压电泵对应所述微流道设置有隔膜与压电膜，所述压电膜通电后产生振动并带动隔膜一起振动，对该微流道内的液滴进行传输并排出微流道外，该压电泵包括一第一板体及盖设于该第一板体上的一第二板体，该微流道设于该第一板体上，该微流道包括一入口段、一出口段及将该入口段与出口段连通的一腔体部，该隔膜设于第一板体上并对应腔体部的位置设置，该压电膜设于隔膜的底部，液滴在该微流道中由入口段向出口段流动，所述入口段、腔体部及出口段的横截面积的大小均沿冷却液的流动方向递减，所述微流道的横截面积从入口段进入腔体部时突然变大，所述微流道的横截面积从腔体部进入出口段时突然变大，使冷却液在该微流道中实现单向流动。

9.如权利要求8所述的微型流体驱动装置，其特征在于：该腔体部、出口段及入口段的最大横截面积依次递减。