[发明专利]制作感光间隙子的方法

权利要求书

1. 一种制作感光间隙子的方法，其特征在于，该方法包含：

提供一透明基板；

提供一掩模，用以制作黑色矩阵，该掩模上具有多个间隙子开口区及多个彩色层开口区；

使用该掩模形成一黑色矩阵基板，具有多个间隙子开孔及多个彩色层开孔；

在该黑色矩阵基板上形成一彩色滤光层；

在该黑色矩阵基板及该彩色滤光层上形成一透明导电层；

在该透明导电层上涂敷一感光间隔材料；

以该黑色矩阵基板为掩模，透过该透明基板使紫外线照射该感光间隔材料，进行一背面曝光交联制程；

显影该交联的感光间隔材料；以及

烘烤该显影的感光间隔材料，以形成一间隙子层。

2. 根据权利要求1所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该透明基板为玻璃基板。

3. 根据权利要求1所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该形成黑色矩阵基板的步骤至少包含：

涂敷一感光黑色遮光材料于该透明基板上；

透过该掩模照射紫外线于该感光黑色遮光材料上，进行一曝光交联工序；

显影该交联的感光黑色遮光材料；以及

烘烤该显影的感光黑色遮光材料，以形成一黑色矩阵基板。

4. 根据权利要求3所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该感光黑色遮光材料为碱可溶黑色光刻胶材。

5. 根据权利要求4所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该碱可溶黑色光刻胶材包含碳黑微粒或金属微粒。

6. 根据权利要求5所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该金属微粒包含氧化钛。

7. 根据权利要求3所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该交联的黑色光刻胶材料利用微碱显影液进行显影。

8. 根据权利要求1所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该形成黑色矩阵基板的步骤至少包含：

镀一黑色金属膜于该透明基板上；

涂敷一正型感光材料于该黑色金属膜上；

使紫外线透过该掩模照射在该正型感光材料上，进行一曝光断键工序；

显影该正型感光材料，形成一图案化光刻胶；

烘烤该图案化光刻胶；

使用该图案化光刻胶为屏蔽，刻蚀该黑色金属膜；以及

移除该图案化光刻胶，以形成一黑色矩阵基板。

9. 根据权利要求8所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该镀黑色金属膜的方法包含蒸镀法或溅镀法。

10. 根据权利要求8所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该黑色金属膜包含铬膜或镍膜。

11. 根据权利要求1所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该间隙子开口区的形状包含多边形、圆形或椭圆形。

12. 根据权利要求1所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该形成彩色滤光层的步骤至少包含：

涂敷一第一彩色感光材料于该黑色矩阵基板上；

使紫外线透过一第一掩模照射在该第一彩色感光材料上，进行一曝光交联工序，该第一掩模上具有多个第一彩色层开口区；

显影该交联的第一彩色感光材料；

烘烤该显影的第一彩色感光材料，以形成一第一彩色滤光层；

涂敷一第二彩色感光材料于该黑色矩阵基板上；

透过一第二掩模照射紫外线于该第二彩色感光材料上，进行一曝光交联工序；

显影该交联的第二彩色感光材料；

烘烤该显影的第二彩色感光材料，以形成一第二彩色滤光层；

涂敷一第三彩色感光材料于该黑色矩阵基板上；

使紫外线透过一第三掩模照射在该第三彩色感光材料上，进行一曝光交联工序；

显影该交联的第三彩色感光材料；以及

烘烤该显影的第三彩色感光材料，以形成一第三彩色滤光层。

13. 根据权利要求12所述的制作感光间隙子的方法，其特征在于，该第二掩模上具有多个第二彩色层开口区，且该第二彩色层开口区的位置与该第一彩色层开口区不重迭。