[发明专利]研磨装置及其自动化研磨方法无效
| 申请号： | 200710084325.2 | 申请日： | 2007-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101045282A | 公开（公告）日： | 2007-10-03 |
| 发明（设计）人： | 储中文;刘昱辰;卢聪林;刘荣其;吴哲耀 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B7/24 | 分类号： | B24B7/24;B24B53/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 及其 自动化 方法 | ||
【说明书】：
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