[发明专利]清洁装置、清洁方法、及产品制造方法无效
| 申请号： | 200710085040.0 | 申请日： | 2007-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN101028624A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 野村进直;柳田芳明 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/00;B08B7/04;B08B3/12;B24C1/00;B24C5/00;G11B5/127 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张龙哺 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 方法 产品 制造 | ||
【权利要求书】：
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