[发明专利]非晶质碳系硬质多层膜和表面上具有该膜的硬质表面部件

权利要求书

1.一种形成于基材上的非晶质碳系硬质多层膜，其特征在于，包含：

在基材侧形成的基底层；

在表面侧形成的表面层；以及

在基底层与表面层之间形成的组成变化层，

其中，所述基底层包含下式(1)所示的元素M的氮化物或碳-氮化物，

所述表面层包含含有50原子％或更高的C的非晶质碳膜，以及

所述组成变化层是从基底层到非晶质碳膜，元素M和氮减少而碳增加 的层：

M1-x-yCxNy...(1)，

其中，所述元素M包括选自W、Mo和Ta中的至少一种；并且其中x 和y表示原子比，x为0.5或更小，y为0.03或更大，且1-x-y大于0，并 且

当基底层的晶体结构通过X-射线衍射检测时，α-W结构、α-Mo结构 或TaN结构的最大峰的强度为其它晶体结构的峰强度的至少5倍大。

2.根据权利要求1的非晶质碳系硬质多层膜，

其特征在于，在所述基材和所述基底层之间，形成包含选自元素周期 表中的IVB族元素、VB族元素、VIB族元素、Al和Si中的至少一种元 素的元素层。

3.一种硬质表面部件，其特征在于，包括基材以及形成在所述基材表 面上的根据权利要求1的非晶质碳系硬质多层膜。

4.一种硬质表面部件，其特征在于，包括基材以及形成在所述基材表 面上的根据权利要求2的非晶质碳系硬质多层膜。