[发明专利]顺磁性的氧测量装置以及用于制造和用于操作这种氧测量装置方法

权利要求书

1.顺磁性的氧测量装置，配有一个哑铃形的、可活动地或弹性地保持的试样体，该试样体在一测量室中的一个不均匀磁场内被测量气体所绕流，其特征在于：试样体保持在一个弹簧装置上，并安置在一个装配框架内；试样体、弹簧装置和装配框架材料接合地彼此相连，按平面结构方式构造而成。

2.顺磁性的氧测量装置，配有一个哑铃形的、可活动地或弹性地保持的试样体，该试样体在一测量室中的一个不均匀磁场内被测量气体所绕流，特别按权利要求1所述，其特征在于：所述测量装置连同一个测量室以及极靴和磁体是由多个平面结构的功能层按层结构形式组成的。

3.顺磁性的氧测量装置，配有一个哑铃形的、可活动地或弹性地保持的试样体，该试样体在一测量室中的一个不均匀磁场内被测量气体所绕流，特别按权利要求1和/或权利要求2所述，其特征在于：测量室垂直于平面地具有至少一个测量气体输入口和至少一个测量气体输出口，使得测量室可以垂直于平面地被绕流。

4.按以上权利要求中至少一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：哑铃形试样体的至少一个外侧设计为反射镜，或者是加以反射性涂层的。

5.按以上权利要求中的任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：在试样体上蒸镀上补偿线匝。

6.按以上权利要求中的任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：试样体设计为空心的。

7.按以上权利要求中的任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：试样体设计为实心的。

8.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：试样体以及装配框架和弹簧都是整体地用硅制成的。

9.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：硅至少在与测量气体相接触的部位中用氧化硅、碳化硅或氮化硅加以涂层。

10.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：在硅载体上集成有电气元件。

11.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：测量装置的层结构的各个层是用常规的半成品制成的。

12.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：用以按层结构形式组成该传感器单元的其他各层由陶瓷或玻璃制成。

13.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：各个层通过粘接而彼此接合。

14.按权利要求13所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：所述粘接是采用一种填充有固体/微粒的粘接剂实施的，其中，固体/微粒的粒度根据一定的接缝形成要求来确定。

15.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：至少一种接合工艺是钎焊或熔焊，或者是玻璃焊接。

16.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：在各层中加设有通道和沟槽，它们按层结构形成相应的线路。

17.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：在至少是靠外的层中，分别设置有用于容纳极靴的配合口。

18.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：在邻接测量室的层中，设置有可半渗透的壁区，其用作为气体输入口。

19.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：气体输入口和气体输出口彼此并列设置在一侧上。

20.按以上权利要求中任一项所述的顺磁性的氧测量装置，其特征在于：气体输入口相对试样体而言设置在一侧上，而气体输出口则设置在试样体的另一侧上。

21.用于制造顺磁性的氧测量装置的方法，在该氧测量装置中配有一个哑铃形的、可旋转地保持的试样体，该试样体在一测量室中的一个不均匀磁场内被测量气体所绕流，其特征在于：所有各组成部分包括试样体、弹簧装置和装配框架都是整体地由一种载体材料特别是硅用腐蚀法制成的。