[发明专利]涂敷膜形成装置用前处理装置及方法、涂敷膜形成装置及方法无效
| 申请号： | 200710085722.1 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101032714A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 松本力也 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C5/02;B05C11/04;B05D1/02;B05D3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 崔幼平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涂敷膜 形成 装置 处理 方法 | ||
【说明书】：
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