[发明专利]薄膜晶体管装置及其制造方法无效
| 申请号： | 200710085728.9 | 申请日： | 2007-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN101034718A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 永田一志;坂本孝雄;中川直纪 | 申请（专利权）人： | 三菱电机株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/12;H01L23/532;H01L21/336;H01L21/31;H01L21/84;H01L21/768 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 浦柏明;刘宗杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 装置 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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