[发明专利]抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置有效
| 申请号： | 200710086162.1 | 申请日： | 2007-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN101030047A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | 李骐范;金柄郁;朴美仙;洪振燮;任润吉;尹锡壹 | 申请（专利权）人： | 东进世美肯株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/26;C02F9/04;C02F1/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰;赵冬梅 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 废液 再生 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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