[发明专利]表面状态的检查方法以及表面状态检查装置有效
| 申请号： | 200710086202.2 | 申请日： | 2007-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101034070A | 公开（公告）日： | 2007-09-12 |
| 发明（设计）人： | 松本俊彦;冈部浩史;木下崇;金谷义宏 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/89 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴世华 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 状态 检查 方法 以及 装置 | ||
【说明书】：
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