[发明专利]用于移动部件的系统和方法、光刻设备和器件制造方法有效
| 申请号： | 200710086300.6 | 申请日： | 2007-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101038444A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | M·F·希尔特杰斯;Y·－T·陶;E·T·范唐克拉尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 李亚非;陈景峻 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 移动 部件 系统 方法 光刻 设备 器件 制造 | ||
【权利要求书】：
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