[发明专利]混合等离子体反应器无效
| 申请号： | 200710086875.8 | 申请日： | 2007-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN101043784A | 公开（公告）日： | 2007-09-26 |
| 发明（设计）人： | 李元默 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H05H1/02;H01L21/3205 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 混合 等离子体 反应器 | ||
【权利要求书】：
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