[发明专利]熔断后不会造成非线性电流的反熔丝及存储单元无效
申请号: | 200710088196.4 | 申请日: | 2007-03-20 |
公开(公告)号: | CN101271881A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 张光晔;许兴仁;何仲仁 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/525 | 分类号: | H01L23/525;H01L27/112;H01L27/115 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波 |
地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 熔断 不会 造成 非线性 电流 反熔丝 存储 单元 | ||
1. 一种熔断后不会造成非线性电流的反熔丝,包含:
基底;
介电层,形成于该基底上;
传导层,形成于该介电层上;
一个第一掺杂区,形成于该介电层下方的基底中;
两个第二掺杂区,形成于该基底中,位于该第一掺杂区的两侧,该两个第二掺杂区之上方未被该介电层覆盖;以及
导线,耦接该两个第二掺杂区。
2. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区由该基底表面注入,具有第一深度,该第二掺杂区由该基底表面注入,具有大于该第一深度的第二深度。
3. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区的浓度小于该第二掺杂区的浓度。
4. 如权利要求1所述的反熔丝,其另包含绝缘层,覆盖于该基底以及该传导层的表面,该导线通过接触窗耦接该两个第二掺杂区。
5. 如权利要求4所述的反熔丝,其中该绝缘层为二氧化硅。
6. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区以及该两个第二掺杂区为n型掺杂区,该基底为p型基底。
7. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区以及该两个第二掺杂区为p型掺杂区,该基底为n型基底。
8. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该传导层为多晶硅。
9. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该介电层为二氧化硅。
10. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该导线为金属线。
11. 一种使用反熔丝的一次式编程存储器的存储单元,包含:
反熔丝,由具有掺杂载流子的沟道的晶体管形成,该晶体管的栅极为该反熔丝的第一端,该晶体管的源极与漏极相耦接为该反熔丝的第二端;
p型晶体管,该p型晶体管的漏极耦接于该反熔丝的第一端;以及
n型晶体管,该n型晶体管的漏极耦接于该反熔丝的第一端。
12. 如权利要求11所述的存储单元,其中该反熔丝、该p型晶体管以及该n型晶体管为互补型金属氧化物半导体晶体管。
13. 如权利要求11所述的存储单元,其中该具有掺杂载流子的沟道的晶体管为具有掺杂p型载流子的沟道的晶体管。
14. 如权利要求13所述的存储单元,其中该反熔丝的第二端耦接于高电压端。
15. 如权利要求11所述的存储单元,其中该具有掺杂载流子的沟道的晶体管为具有掺杂n型载流子的沟道的晶体管。
16. 如权利要求15所述的存储单元,其中该反熔丝的第二端耦接于接地端。
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