[发明专利]熔断后不会造成非线性电流的反熔丝及存储单元无效

专利信息
申请号: 200710088196.4 申请日: 2007-03-20
公开(公告)号: CN101271881A 公开(公告)日: 2008-09-24
发明(设计)人: 张光晔;许兴仁;何仲仁 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司
主分类号: H01L23/525 分类号: H01L23/525;H01L27/112;H01L27/115
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 代理人: 陶凤波
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 熔断 不会 造成 非线性 电流 反熔丝 存储 单元
【权利要求书】:

1. 一种熔断后不会造成非线性电流的反熔丝,包含:

基底;

介电层,形成于该基底上;

传导层,形成于该介电层上;

一个第一掺杂区,形成于该介电层下方的基底中;

两个第二掺杂区,形成于该基底中,位于该第一掺杂区的两侧,该两个第二掺杂区之上方未被该介电层覆盖;以及

导线,耦接该两个第二掺杂区。

2. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区由该基底表面注入,具有第一深度,该第二掺杂区由该基底表面注入,具有大于该第一深度的第二深度。

3. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区的浓度小于该第二掺杂区的浓度。

4. 如权利要求1所述的反熔丝,其另包含绝缘层,覆盖于该基底以及该传导层的表面,该导线通过接触窗耦接该两个第二掺杂区。

5. 如权利要求4所述的反熔丝,其中该绝缘层为二氧化硅。

6. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区以及该两个第二掺杂区为n型掺杂区,该基底为p型基底。

7. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该第一掺杂区以及该两个第二掺杂区为p型掺杂区,该基底为n型基底。

8. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该传导层为多晶硅。

9. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该介电层为二氧化硅。

10. 如权利要求1所述的反熔丝,其中该导线为金属线。

11. 一种使用反熔丝的一次式编程存储器的存储单元,包含:

反熔丝,由具有掺杂载流子的沟道的晶体管形成,该晶体管的栅极为该反熔丝的第一端,该晶体管的源极与漏极相耦接为该反熔丝的第二端;

p型晶体管,该p型晶体管的漏极耦接于该反熔丝的第一端;以及

n型晶体管,该n型晶体管的漏极耦接于该反熔丝的第一端。

12. 如权利要求11所述的存储单元,其中该反熔丝、该p型晶体管以及该n型晶体管为互补型金属氧化物半导体晶体管。

13. 如权利要求11所述的存储单元,其中该具有掺杂载流子的沟道的晶体管为具有掺杂p型载流子的沟道的晶体管。

14. 如权利要求13所述的存储单元,其中该反熔丝的第二端耦接于高电压端。

15. 如权利要求11所述的存储单元,其中该具有掺杂载流子的沟道的晶体管为具有掺杂n型载流子的沟道的晶体管。

16. 如权利要求15所述的存储单元,其中该反熔丝的第二端耦接于接地端。

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