[发明专利]搬送装置及真空处理装置无效
| 申请号： | 200710088653.X | 申请日： | 2007-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN101038447A | 公开（公告）日： | 2007-09-19 |
| 发明（设计）人： | 村山升 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B7/26;B65H5/00;B65G47/74 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 | 代理人： | 徐申民;张惠萍 |
| 地址： | 日本东京都大*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 真空 处理 | ||
【说明书】：
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