[发明专利]用于PTF测量架的磁场检测器固定组件装置

权利要求书

1.一种磁场检测器固定组件装置，其用于对靶进行测量的穿过通量测量装置，所述磁场检测器固定组件装置包括：

具有纵向开口的垫圈，其中所述垫圈的所述开口允许磁场检测器被定位，且其中所述垫圈被定位在所述磁场检测器固定组件内；和

至少一个紧固件，其中所述至少一个紧固件穿过所述磁场检测器固定组件中的至少一个开口，且其中所述紧固件适于被调节以机械连接所述垫圈，以便将所述垫圈固定在所述磁场检测器固定组件内的预定位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述垫圈由非金属材料组成。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述垫圈由聚甲醛树酯、聚四氟乙烯、塑料、尼龙或者非磁性材料组成。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件中的所述至少一个开口被刻螺纹。

5.根据权利要求4所述的装置，其中所述至少一个紧固件是至少一个螺丝，该螺丝被拧到所述至少一个开口中。

6.根据权利要求1所述的装置，进一步包括在所述磁场检测器的一端与所述垫圈的一端之间的气隙。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件由黄铜或非磁性材料组成。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件具有上部分与下部分，且其中所述上部分的外部直径小于或等于所述下部分的外部直径。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件具有上部分与下部分，所述上部分具有第一内部直径，而所述下部分具有第二内部直径，且其中所述第一内部直径小于或等于所述第二内部直径。

10.一种测定溅射靶的穿过通量的装置，包括：

(a)磁源，其产生穿过所述溅射靶的磁场；

(b)磁场检测器固定组件，其具有带纵向开口的垫圈，其中所述垫圈的所述开口允许磁场检测器被定位，且其中所述垫圈被定位在所述磁场检测器固定组件内；以及

(c)支架，其被配置以移动所述溅射靶或所述磁场检测器固定组件的一个或两者。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述支架是人工操作机械架。

12.根据权利要求10所述的装置，其中所述支架是自动化穿过通量测量架。

13.根据权利要求10所述的装置，其中所述磁源是可旋转的。

14.根据权利要求10所述的装置，其中所述垫圈由非金属材料组成。

15.根据权利要求14所述的装置，其中所述垫圈由聚甲醛树酯、聚四氟乙烯、塑料、尼龙或者非磁性材料组成。

16.根据权利要求10所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件具有至少一个紧固件，其中所述至少一个紧固件穿过所述磁场检测器固定组件的至少一个开口，且其中所述紧固件适于被调节以机械连接所述垫圈，以便将所述垫圈固定在所述磁场检测器固定组件内的预定位置。

17.根据权利要求16所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件中的所述至少一个开口被刻螺纹。

18.根据权利要求16所述的装置，其中所述至少一个紧固件是至少一个螺丝，该螺丝被拧到所述至少一个开口中。

19.根据权利要求10所述的装置，进一步包括在所述磁场检测器的一端与所述垫圈的一端之间的气隙。

20.根据权利要求10所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件由黄铜或非磁性材料组成。

21.根据权利要求10所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件具有上部分与下部分，且其中所述上部分的外部直径小于或等于所述下部分的外部直径。

22.根据权利要求10所述的装置，其中所述磁场检测器固定组件具有上部分与下部分，所述上部分具有第一内部直径，而所述下部分具有第二内部直径，且其中所述第一内部直径小于或等于所述第二内部直径。