[发明专利]光致抗蚀剂剥离装置、再循环光致抗蚀剂剥离剂的方法

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂PR剥离装置，包括：

PR剥离槽，其中设置具有PR图案的基板且进行所述PR图案的剥离；

PR剥离剂回收管，连接到所述剥离槽的出口用于从该PR剥离槽接收PR剥离剂；

多个过滤器单元，具有连接到该PR剥离剂回收管的入口、和出口，所述多个过滤器单元用来过滤从该PR剥离剂回收管接收的所述PR剥离剂；以及

PR剥离剂供给管，连接到所述过滤器单元的所述出口用于接收过滤的PR剥离剂且将所述过滤的PR剥离剂供给到PR剥离槽的入口，

其中所述多个过滤器单元并联连接。

2.根据权利要求1的PR剥离装置，其中所述多个过滤器单元中的至少一个包括至少一个过滤器，该过滤器包括金属网。

3.根据权利要求2的PR剥离装置，其中该金属网是不锈钢网，且该不锈钢网包括两个或更多不锈钢网的叠层。

4.根据权利要求1的PR剥离装置，其中通过该PR剥离剂回收管返回的该PR剥离剂含有从透明导电氧化物层得到的漂浮材料。

5.根据权利要求1的PR剥离装置，其中所述多个过滤器单元的每个还包括用于控制所述PR剥离剂的通过的开关器件。

6.根据权利要求5的PR剥离装置，其中所述多个过滤器单元中的至少一个包括第一压力计用于在所述PR剥离剂经过该过滤器之前或之后测量该PR剥离剂的压力。

7.根据权利要求1的PR剥离装置，还包括增压器件用于给流向所述多个过滤器单元的所述PR剥离剂增压。

8.根据权利要求7的PR剥离装置，其中该增压器件是增压泵，且该增压泵设置在该PR剥离剂回收管处。

9.根据权利要求1的PR剥离装置，其中所述多个过滤器单元的每个包括彼此串联连接的两个或更多过滤器。

10.根据权利要求9的PR剥离装置，其中所述两个或更多过滤器具有不同的孔尺寸。

11.根据权利要求1的PR剥离装置，还包括：

第一存储槽，其连接到该PR剥离剂回收管从而存储所回收的PR剥离剂且将所回收的PR剥离剂供给到所述多个过滤器单元；以及

第二存储槽，其连接到该PR剥离剂供给管从而存储经过所述两个或更多过滤器单元的被过滤的PR剥离剂且将所述被过滤的PR剥离剂供给到所述PR剥离槽。

12.根据权利要求1的PR剥离装置，还包括位于该PR剥离槽中的喷嘴，其连接到该PR剥离剂供给管且用来将过滤的PR剥离剂喷洒在所述基板上。

13.根据权利要求12的PR剥离装置，其中该PR剥离槽包括至少一个传送辊用于移动所述基板。

14.根据权利要求1的PR剥离装置，其中具有所述PR图案的所述基板的基底基板是透明绝缘基板。

15.一种再循环PR剥离剂的方法，该方法包括：

打开彼此并联连接在PR剥离剂回收管和PR剥离剂供给管之间的两个或更多过滤器单元中的第一过滤器单元；

通过该PR剥离剂回收管回收已在PR剥离工艺中使用过的PR剥离剂；

向该第一过滤器单元供给所回收的PR剥离剂且在该第一过滤器单元中过滤所回收的PR剥离剂；以及

向所述PR剥离剂供给管供给所述被过滤的PR剥离剂从而所过滤的PR剥离剂被再循环，

其中当在所述过滤之前测量的所述回收的PR剥离剂的压力超过第一预定压力水平时或者当在所述过滤之后测量的所述过滤的PR剥离剂的压力小于第二预定压力水平时，该第一过滤器单元的操作停止，且所述两个或更多过滤器单元中的第二过滤器单元被用来过滤从所述PR剥离剂回收管接收的所述PR剥离剂。

16.根据权利要求15的方法，其中该第一过滤器单元的过滤器包括金属网，且

其中在关闭该第一过滤器单元之后，该第一过滤器单元的所述过滤器与该第一过滤器单元分离，被清洗，然后再安装在该第一过滤器单元中。

17.一种制造薄膜晶体管阵列面板的方法，该方法包括使用权利要求1至14的PR剥离装置喷洒PR剥离剂在绝缘面板上，以及再循环所述PR剥离剂。