[发明专利]一种圆形阴极表面弧斑受程控复合磁场控制的蒸发离化源

权利要求书

1.一种采用程控复合磁场，即按设定程序调整的电磁场和永久磁场叠加成程控复合磁场，来控制弧斑运动的蒸发离化源，其特征是圆形阴极表面上以圆形表面中心为轴心的环状弧斑呈现直径不断扩大或收缩的环状弧斑轨迹，使弧斑对表面烧蚀均匀。

又由于环状弧斑的扩大或收缩速率受设定程序调整的电磁场和永久磁场叠加成程控复合磁场的控制，可调节到使该速率限制在较低速范围内，也可调节到在需要多些烧蚀的径向位置上令弧斑多些时间逗留，从而使蒸发离化的金属粒子细化，并使阴极表面上烧蚀均匀。

2.根据权利要求1，一种圆形阴极表面弧斑受程控复合磁场控制的蒸发离化源，其特征是可调电磁场由电磁线圈输入可调电流产生，可调电流的调整规律由设计的模块给出。

3.根据权利要求1，一种圆形阴极表面弧斑受程控复合磁场控制的蒸发离化源，其特征是可调电磁场与永久磁场叠加成程控复合磁场，设定程序调整的电磁场的极性与永久磁场的极性一致叠加或相反叠加均可，模块中的设定程序按如下要求设计：当程控复合磁场的调整规律随时间周期地增加和减少时，程控复合磁场的大小和分布也相应发生变化，总的会使圆形阴极表面烧蚀均匀，并使蒸发液滴细化达到最佳，数量最少。

4.根据权利要求1，一种圆形阴极表面弧斑受程控复合磁场控制的蒸发离化源，其特征是依据阴极材料是钛、锆、铝、铜、不锈钢，弧电流在小于30A范围内，使蒸发离化源适用于多种金属材料的阴极。