[发明专利]液滴喷出装置及其运转方法

权利要求书

1.一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：

具有容纳了涂覆液的罐的盒部；

使上述涂覆液成为液滴喷出到被附着体上的头部；

通过将上述罐中的涂覆液供给上述头部，并使通过了该头部的涂覆液返回上述罐，从而使涂覆液循环的涂覆液供给循环部；

经由上述涂覆液供给循环部将清洗液供给上述头部的清洗液供给部；

从上述涂覆液供给循环部的一部分排出废液的废液排出部；以及

在用从上述清洗液供给部供给的清洗液清洗上述涂覆液供给循环部及上述头部时，以加压气体对上述清洗液供给部内加压，在通过上述涂覆液供给循环部使涂覆液循环时，对上述罐内进行减压的压力切换部，并且

上述盒部连接成对上述涂覆液供给循环部可以更换。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述盒部设有多个具有上述罐的盒，各盒对上述涂覆液供给循环部可切换地并列连接。

3.一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：

具有容纳了涂覆液的罐的盒部；

使上述涂覆液成为液滴喷出到被附着体上的头部；

通过将上述罐中的涂覆液供给上述头部，并使通过了该头部的涂覆液返回上述罐，从而使涂覆液循环的涂覆液供给循环部；

经由上述涂覆液供给循环部将清洗液供给上述头部的清洗液供给部；

从上述涂覆液供给循环部的一部分排出废液的废液排出部；以及

在用从上述清洗液供给部供给的清洗液清洗上述涂覆液供给循环部及上述头部时，以加压气体对上述清洗液供给部内加压，在通过上述涂覆液供给循环部使涂覆液循环时，对上述罐内进行减压的压力切换部，并且

上述盒部连接成对上述涂覆液供给循环部可以更换，

上述盒部设置在比上述头部更高的位置，

上述盒部具有将涂覆液供给上述头部的主罐，和使通过了上述头部的涂覆液返回的辅罐，

上述主罐和辅罐用上述涂覆液供给循环部的带移送用泵的罐间移送管连接，

在通过上述涂覆液供给循环部使涂覆液循环时，由上述压力切换部维持上述辅罐的内压使其比上述主罐的内压更低。

4.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述头部设有多个头，这些多个头利用头连接管串连连接。

5.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述涂覆液是混合并分散了固体粒子的涂覆液。

6.根据权利要求5所述的液滴喷出装置，其特征在于，

上述被附着体是液晶用基片，上述固体粒子是保持两块液晶用基片的间隙的隔离物。