[发明专利]驱动装置、液体喷头及液体喷射装置有效
| 申请号： | 200710091649.9 | 申请日： | 2007-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN101051669A | 公开（公告）日： | 2007-10-10 |
| 发明（设计）人： | 高部本规;角浩二;野口元久;横山直人;齐藤刚 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/08 | 分类号： | H01L41/08;H01L41/09;H01L41/047;B41J2/14;B41J2/045 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 液体 喷头 喷射 | ||
【权利要求书】：
1、一种驱动装置，其中，
具备经由绝缘体膜设置在基板上且由下电极、压电体层及上电极构成的压电元件，
所述下电极由合金构成，该合金包含铂、氧及钛且所述钛相对所述铂的含有率为3～30％，
并且，所述下电极的杨氏模量为200Gpa以上，所述下电极的韧性在所述绝缘体膜的韧性以上且为6MN/m2/3以上。
2、根据权利要求1所述的驱动装置，其中，
所述压电元件的各层通过成膜及光刻法来形成。
3、一种液体喷头，其中，
具备权利要求1所述的驱动装置，该驱动装置作为改变用于从喷嘴开口喷射液体的压力的压力产生部件。
4、一种液体喷射装置，其中，
具备权利要求3所述的液体喷头。
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