[发明专利]电热驱动的珐珀光调制器

权利要求书

1.一种电热驱动的珐珀光调制器，其特征在于它包括：

a.硅基底；

b.位于硅基底上的电热驱动部件，电热驱动部件至少三层材料制成，中间为作为绝缘层，上、下两层分别为热膨胀系数不同的导电层；

c.位于电热驱动部件之上的支撑锚；

d.被连接支撑在支撑锚上的可动下反射镜；

e.通过键合的方法悬置固定在硅基底上的透明玻璃基板；

f.附着在玻璃基板下表面并与可动下反射镜相对的上反射镜，上反射镜和下反射镜被空气层隔开，形成珐珀腔。

2.根据权利要求1所述的电热驱动的珐珀光调制器，其特征在于：所述电热驱动部件是十字形状梁架结构、平板状结构、或者几个平行梁组合结构，电热驱动部件的上层为铝，下层为多晶硅，中间为作为绝缘层的二氧化硅。

3.根据权利要求1或2所述的电热驱动的珐珀光调制器，其特征在于：珐珀腔的初始腔长为kλ/2，调制器为暗态，被外加工作电压激励后，珐珀腔的长度变为(2k-1)λ/4，调制器为亮态。

4.根据权利要求1或2所述的电热驱动的珐珀光调制器，其特征在于：下反射镜和上反射镜是金属反射镜或多层介质反射镜。