[发明专利]半导体器件测试图形交互式布局的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件测试图形布局的方法。 

背景技术

在集成电路制造中，追求成本的节省和对器件质量的高要求等促使制造商不断进行新工艺的开发。在新工艺开发中，版图设计者会设计很多单个器件(cell)的测试图形，设计完毕后需要将它们排布成一整个完整的芯片，由于这些测试图形的最大边界尺寸没有什么规律，所以设计者要花费很多时间来对它们进行手动排布，在此排布的对象是由测试图形的最大边界决定的矩形。排布完之后可以将最终数据导出GDSII数据，用于制作掩模板。 

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种半导体器件测试图形交互式布局的方法，其能对由测试图形的最大边界决定的矩形进行自动排布。 

为解决上述技术问题，本发明的半导体器件测试图形交互式布局的方法，包括如下步骤： 

(1)通过手动版图编辑工具的坐标转换接口，获取待排布的器件测试图形本身的矩形左下角坐标(x1，y1)和右上角坐标(x2，y2)，后根据不同矩形在坐标系中所具有的旋转和镜像的属性进行矩阵坐标变换，并对每个矩形的长宽各放大一设定的尺寸，得到新的左下角坐标(x1′，y1′) 和右上角坐标(x2′，y2′)； 

(2)根据步骤(1)获取的坐标，利用排布程序对所有矩形进行排布，比较各种排布图形的形状和尺寸，输出一形状最接近正方形且尺寸最小的排布图形的矩形阵列； 

(3)将排好后的矩形阵列中，将步骤(1)中做过矩阵变换的矩形作逆向矩阵变换，并将步骤(1)中放大的尺寸减去，输出新的矩形坐标； 

(4)根据步骤(3)输出的矩形坐标，求出各个矩形的x轴方向的偏移量和y轴方向的偏移量，并更新手动版图编辑工具中相应的测试图形的矩形坐标。 

本发明的测试图形布局的方法，通过手动版图编辑工具的坐标转换接口和排布程序，实现对器件测试图形的交互式布局，避免了原有技术中排测试图形时繁琐的手动版图编辑。 

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明： 

图1为本发明的方法流程示意图； 

图2为本发明的矩阵变化示意图； 

图3为本发明的排布原理示意图； 

图4为本发明的一个具体排布图形示意图。 

具体实施方式

本发明的方法通过一个手动版图编辑工具的坐标转换接口和一个基于C语言的矩形排布程序完成。本发明中要排布的矩形由测试图形的最大边界决定，因测试图形尺寸各不相同，故由此决定的矩形也各不相同。手 动版图编辑工具的坐标转换接口的输入为需要进行矩阵变换的矩形的左下角和右上角的坐标，它的输出为矩阵变换后的矩形的左下角和右上角的坐标。而矩形排布程序的输入为矩形阵列的左下角和右上角的坐标，它的输出为排好以后的矩形阵列的左下角和右上角的坐标。如图1所示，本发明的图形排布通过矩形图形的坐标转换来实现。 

本发明的方法包括以下步骤： 

(1)首先通过手动版图编辑工具的坐标转换接口，获取所有待排布的矩形测试图形的左下角坐标(x1，y1)和右上角的坐标(x2，y2)，并进行矩阵变换。进行矩阵变换是为了考虑到测试图形(cellview)在坐标系中所具有的旋转和镜像的属性的因素，需要进行矩阵变换。另外，将变换后的左下角x轴和y轴坐标各减去5um，右上角x轴和y轴坐标各加上5um，以在图形之间空开10um的距离。变换矩阵可以定义为镜像矩阵和旋转矩阵两部分组成，整个坐标变换矩阵＝镜像矩阵×旋转矩阵，镜像和旋转形成的组合总共有8种情况(详见表1)，图2为8种变换情况的示意图：