[发明专利]调节气缸驱动速度的装置

说明书

技术领域

本发明涉及气缸的驱动系统，尤其涉及一种调节气缸驱动速度的装置。

背景技术

半导体设备上使用了很多气缸，用于驱动运动部件，比如载片台的上下，门的开关等。气缸的运动速度和平稳性都有一定的要求，因此经常需要对气缸进行调节，目前调节气缸运动速度都通过两个调节阀来调节(见图1)，其调节过程如下：

(1)如果要使气缸1向上运动，则通过第二进气口10进气，通过第二调节阀8向下腔室3充气，驱动活塞4向上运动，上腔室2的气体通过第一调节阀7排出；

(2)如果要使气缸1向下运动，则通过第一进气口9进气，通过第一调节阀7向上腔室2充气，驱动活塞4向下运动，下腔室3的气体通过第二调节阀8排出；

(3)气缸1的运动速度由第一、第二两个调节阀的进气、排气速度共同决定。

因此只要调节气缸一个方向的运动速度，必然也会影响到另一个方向的运动速度，例如，为增加气缸1向上运动的速度，可加大第二调节阀8的阀门，第一调节阀7保持不变，仍留在合适的位置，此时虽然活塞4向上的速度增加了，但同时活塞4向下的速度也增加了。这样的调节机构不利于气缸速度的精确控制。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种调节气缸驱动速度的装置，可精确控制气缸上下运动的速度。

为了解决上述技术问题，本发明调节气缸驱动速度的装置，包括第一驱动管路和第二驱动管路，所述第一驱动管路与气缸的上腔室连接，该第一驱动管路上设有第一调节阀，所述第二驱动管路与气缸的下腔室连接，该第二驱动管路上设有第二调节阀，

所述第一驱动管路还设有第一进气单向阀、第一出气单向阀，所述第一调节阀包括第一进气调节阀和第一出气调节阀，该第一进气单向阀和第一进气调节阀串接的支路，与所述第一出气单向阀和第一出气调节阀串接的支路组成并联管路；

所述第二驱动管路还设有第二进气单向阀、第二出气单向阀，所述第二调节阀包括第二进气调节阀和第二出气调节阀，该第二进气单向阀和第二进气调节阀串接的支路，与所述第二出气单向阀和第二出气调节阀串接的支路组成并联管路。

本发明调节气缸驱动速度的装置，通过改变气缸的驱动控制回路结构，有效提高气缸运动的平稳性，且对气缸的运动速度进行精确调控。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1是现有调节气缸驱动速度的装置的结构示意图；

图2是本发明调节气缸驱动速度的装置的结构示意图。

具体实施方式

如图2所示，本发明调节气缸驱动速度的装置，包括第一驱动管路5和第二驱动管路6，所述第一驱动管路5与气缸1的上腔室2连接，该第一驱动管路5上设有第一调节阀7，所述第二驱动管路6与气缸1的下腔室3连接，该第二驱动管路6上设有第二调节阀8，

所述第一驱动管路5还设有第一进气单向阀111、第一出气单向阀112，所述第一调节阀7包括第一进气调节阀71和第一出气调节阀72，该第一进气单向阀111和第一进气调节阀71串接的支路，与所述第一出气单向阀112和第一出气调节阀72串接的支路组成并联管路；

所述第二驱动管路6还设有第二进气单向阀121、第二出气单向阀122，所述第二调节阀8包括第二进气调节阀81和第二出气调节阀82，该第二进气单向阀121和第二进气调节阀81串接的支路，与所述第二出气单向阀122和第二出气调节阀82串接的支路组成并联管路。

本发明的单向阀是指气流只能向一个方向流动而不能反向流动通过的阀。本发明通过单向阀和气体流量调节阀的组合来控制气缸的驱动速度。

本发明调节气缸驱动速度的装置，其调节过程如下：

(1)如果要使气缸1向上运动，则通过第二驱动管路6的第二进气口10进气，通过第二进气单向阀121和第二进气调节阀81，向下腔室3充气，驱动活塞4向上运动，上腔室2的气体通过第一出气单向阀112和第一出气调节阀72排出；

(2)如果要使气缸1向下运动，则通过第一驱动管路5的第一进气口9进气，通过第一进气单向阀111和第一进气调节阀71，向上腔室2充气，驱动活塞4向下运动，下腔室3的气体通过第二出气单向阀122和第二出气调节阀82排出；

(3)气缸1向上运动速度由第二进气调节阀81的进气速度和第一出气调节阀72的排气速度决定，气缸1向下运动速度由第一进气调节阀71的进气速度和第二出气调节阀82的排气速度决定，两者互不影响。

因此本发明的调节装置有利于气缸速度的精确控制，且使气缸的运动更加平稳。