[发明专利]晶圆特性测试中探针卡测试仪和探针卡使用量的计数方法

权利要求书

1.一种利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法，包括探针卡用量数据库和测试条件数据库，所述探针卡用量数据库中包含有探针卡型号信息、与所述探针卡型号相对应的累计使用量信息，以及与所述探针卡型号相对应的探针卡使用寿命的信息；所述测试条件数据库中包含有探针卡型号信息、与所述探针卡型号信息相对应的各种测试条件的信息，以及与所述各种测试条件信息相对应的在该测试条件下探针卡单次使用量的信息；所述探针卡用量数据库与所述测试条件数据库通过探针卡型号信息相互关联；其特征在于，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，根据所述测试条件信息和所使用的探针卡型号的信息在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息，然后通过所述探针卡型号的信息关联到所述探针卡用量数据库，所述探针卡单次使用量乘以测试的晶圆数量就得到探针卡的实际使用量，对所述探针卡的实际使用量进行累计，得到累计使用量信息，将所述累计使用量信息根据探针卡型号信息对应的存储到所述探针卡用量数据库中，所述探针卡用量数据库中相对应的累计使用量信息大于或等于探针卡使用寿命信息时，所述探针卡测试仪发出更换探针卡的提示。

2.根据权利要求1所述的利用探针卡测试仪实现的探针卡使用量的计数方法，其特征在于，所述测试条件数据库还包括产品类别的信息，所述产品类别的信息与所述探针卡型号信息、测试条件信息以及探针卡单次使用量信息相互对应，所述测试仪取得所述测试条件信息以及所使用的探针卡型号的信息，并且还取得所述产品类别的信息，根据所述测试条件信息和所使用的探针卡型号的信息，以及产品类别的信息，在所述测试条件数据库中查询到所述探针卡单次使用量的信息。