[发明专利]制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统。 

背景技术

半导体集成电路的制造过程中，各工艺步骤所使用的制造机台的性能好坏是直接影响半导体产品成品率的重要原因之一，因此，每天对制造机台进行监测和控制是非常有必要的。对制造机台的监测过程包括：测量在制品，获得制造机台的监测数据；对制造机台的控制过程包括：根据制造机台的监测数据判断制造机台的性能是否符合标准，在制造机台的性能不符合标准时调整制造机台并控制其达到最佳化。 

上述监测过程中，测量装置测量在制品可以得到在制品的性能参数的测量值；上述控制过程中，控制装置，例如生产执行系统(MES，ManufacturingExecution System)根据监测数据是否在预定范围内来判断制造机台的性能是否符合标准，若是则控制制造机台继续工作，若否则控制制造机台停止工作。 

一些在制品的性能参数的测量值在制造机台处理前和处理后是相同的，例如线宽、线间距等，因此，从测量装置得到的测量值可以直接作为制造机台的监测数据输入到控制装置。 

但是，还有一些在制品的性能参数的测量值在制造机台处理前和处理后会发生变化，在制品在通过制造机台前后需要分别被测量，如申请号为200510096511.9的中国发明专利所述，因此，从测量装置得到的测量值不能直接作为制造机台的监测数据输入到控制装置，而是需要对处理前、处理后的测量值进行计算，得到在制品的性能参数的计算值，例如厚度、微粒子数量、蚀刻率等，才将所获得的在制品的性能参数的计算值作为制造机台的监测数 据输入到控制装置。 

目前，制造机台的监测和控制过程是分离的，没有达到一体化，也就是说，还没有一种装置可以对测量装置所得到的测量值进行处理，以获得制造机台的监测数据，并将其输入至控制装置中。因此，在制造机台的监控过程中，测量装置和控制装置之间的工作只能是通过人工完成的，例如，监测人员读取测量装置测量在制品所得到的性能参数的测量值并记录在无尘室的记录本中，必要时还需要对测量值进行计算后再记录，然后监测人员将测量值或计算值作为监测数据输入到MES中。 

此外，由于上述获得制造机台的监测数据是通过人工完成的，这不仅处理时间较长，而且记录、计算和输入都很容易出错，甚至有些监测人员在获得错误的监测数据时，故意不输入会使制造机台停止工作的监测数据，而直接输入正确的监测数据，因此MES无法发现制造机台的性能降低，而使制造机台继续工作，这样就会严重影响成品率。 

发明内容

本发明解决的问题是，提供一种制造机台的监测数据处理方法和装置、监控方法和系统，以使制造机台的监测和控制一体化，同时提高制造机台的监测和控制过程的准确性和时效性。 

为解决上述问题，本发明提供一种制造机台的监测数据处理方法，包括下述步骤： 

获取在制品的性能参数的测量值； 

判断所述测量值是不需要还是需要计算的测量值； 

若所述测量值是不需要计算的测量值，则将所述在制品的性能参数的测量值作为制造机台的监测数据记录； 

若所述测量值是需要计算的测量值，则判断所述测量值是制造机台处理前还是处理后的测量值； 

若所述测量值是制造机台处理前的测量值，则暂存所述测量值； 

若所述测量值是制造机台处理后的测量值，则根据所述处理后的测量值和对应的处理前的测量值，计算在制品的性能参数的计算值； 

将所述在制品的性能参数的计算值作为制造机台的监测数据记录。 

为解决上述问题，本发明还提供一种制造机台的监测数据处理装置，包括： 

获取单元，用于获取在制品的性能参数的测量值； 

判断单元，用于判断所述测量值是不需要还是需要计算的测量值，并且在所述测量值是需要计算的测量值时，判断所述测量值是制造机台处理前还是处理后的测量值； 

暂存单元，用于在所述测量值是制造机台处理前的测量值时，暂存所述测量值； 

计算单元，用于在所述测量值是制造机台处理后的测量值时，根据所述处理后的测量值和对应的处理前的测量值，计算在制品的性能参数的计算值； 

记录单元，用于在所述测量值是不需要计算的测量值时，将所述在制品的性能参数的测量值作为制造机台的监测数据记录，以及在所述测量值是制造机台处理后的测量值时，将所述在制品的性能参数的计算值作为制造机台的监测数据记录。