[发明专利]统计过程控制方法及装置无效

专利信息
申请号: 200710094481.7 申请日: 2007-12-13
公开(公告)号: CN101458513A 公开(公告)日: 2009-06-17
发明(设计)人: 杨斯元 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G05B19/418 分类号: G05B19/418;G06Q10/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 李 丽
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 统计 过程 控制 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种统计过程控制方法,其特征在于,包括应用界限对测量数据进行失控分析,所述界限通过下述方法获得:设定容限系数;根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值;根据百分位数函数和所述测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限。

2.如权利要求1所述的统计过程控制方法,其特征在于,当所设定的容限系数为第一容限系数时,所述界限为第一界限;所述应用界限对测量数据进行失控分析包括:

设定第一规则:若所述测量数据中的任意一点超过第一界限覆盖的数据范围,所述测量数据为失控数据;

采用所述第一规则对测量数据进行失控分析。

3.如权利要求1所述的统计过程控制方法,其特征在于,当所设定的容限系数为第二容限系数时,所述界限为第二界限;所述应用界限对测量数据进行失控分析包括:

设定第二规则:若所述测量数据任意连续三点数据中的任意两点数据在同一边超过第二界限覆盖的数据范围,所述测量数据为失控数据;

采用所述第二规则对测量数据进行失控分析。

4.如权利要求1所述的统计过程控制方法,其特征在于,当所设定的容限系数为第三容限系数时,所述界限为第三界限;所述应用界限对测量数据进行失控分析包括:

设定第三规则:若所述测量数据任意连续五点数据中的任意四点数据在同一边超过第三界限覆盖的数据范围,所述测量数据为失控数据;

采用所述第三规则对测量数据进行失控分析。

5.如权利要求1至4任一项所述的统计过程控制方法,其特征在于,还包括采用第四规则对测量数据进行失控分析,所述第四规则为:若所测量数据中有至少连续八个点的数据均大于或均小于第四界限,所述测量数据为失控数据;其中,所述第四界限为所测量数据的中位值。

6.如权利要求1至4任一项所述的统计过程控制方法,其特征在于,还包括采用第五规则对测量数据进行失控分析,所述第五规则为:若所测量数据中有至少连续六个点的数据呈现单调上升或单调下降的趋势,则所述测量数据为失控数据。

7.一种统计过程控制装置,其特征在于,包括,

计算单元,用于根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的容限系数的正态分布概率值,并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的界限;

分析单元,用于读取计算单元获得的界限,对测量数据进行失控分析。

8.如权利要求7所述的统计过程控制装置,其特征在于,所述计算单元包括第一计算单元,所述第一计算单元用于根据标准正态累积分布函数获得对应所设定的第一容限系数的正态分布概率值,并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的第一界限;所述分析单元包括第一分析单元,所述第一分析单元用于读取第一计算单元的第一界限,并设定第一规则对测量数据进行失控分析,所述第一规则为:若所述测量数据中的任意一点超过第一界限覆盖的数据范围,所述测量数据为失控数据。

9.如权利要求7所述的统计过程控制装置,其特征在于,所述计算单元还包括第二计算单元,所述第二计算单元用于根据标准正态累积分布函数获得对应第二容限系数的正态分布概率值,并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的第二界限;所述分析单元还包括第二分析单元,所述第二分析单元用于读取第二计算单元的第二界限,并设定第二规则对测量数据进行失控分析,所述第二规则为:若所述测量数据任意连续三点数据中的任意两点数据在同一边超过第二界限覆盖的数据范围,所述测量数据为失控数据。

10.如权利要求7所述的统计过程控制装置,其特征在于,所述计算单元还包括第三计算单元,所述第三计算单元用于根据标准正态累积分布函数获得对应第三容限系数的正态分布概率值,并根据百分位数函数和测量数据获得对应所述正态分布概率值的第三界限;所述分析单元还包括第三分析单元,所述第三分析单元用于读取第三计算单元的第三界限,并设定第三规则对测量数据进行失控分析,所述第三规则为:若所述测量数据任意连续五点数据中的任意四点数据在同一边超过第三界限覆盖的数据范围,所述测量数据为失控数据。

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