[发明专利]灰化的方法有效
| 申请号： | 200710094490.6 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458463A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 周鸣;尹晓明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G03F7/36;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 灰化 方法 | ||
1.一种灰化的方法，其特征在于，包括，在干法蚀刻之后，灰化去除光刻胶之前，向光刻胶通入含氢气体软化光刻胶，所述含氢气体为联肼；在软化光刻胶时，使得光刻胶接近灰化设备的射频功率源、远离灰化设备的加热板；
所述灰化步骤包括，执行第一灰化步骤，所述第一灰化步骤采用含氢气体以及氧化气体；在完成第一灰化步骤后，执行第二灰化步骤，所述第二灰化步骤采用氧化气体；所述第一灰化步骤采用的含氢气体为联肼，所述第一灰化步骤采用的氧化气体为氧气和氮气的混合气体；在第一灰化步骤中，使得光刻胶接近灰化设备的加热板；所述第二灰化步骤采用的氧化气体为氧气；在第二灰化步骤中，使得光刻胶接近灰化设备的射频功率源。
2.如权利要求1所述的灰化的方法，其特征在于，所述软化光刻胶时的含氢气体的流量为800-1000sccm/min，所述软化光刻胶时的反应压力为600-650mT，温度为250℃，所述软化光刻胶的时间为45秒。
3.如权利要求2所述的灰化的方法，其特征在于，所述第一灰化步骤中含氢气体的流量为800-1000sccm/min，所述第一灰化步骤采用的氧化气体中氧气的流量为9000-9500sccm/min，所述第一灰化步骤采用的氧化气体中氮气的流量为600-650sccm/min，所述第一灰化步骤的压力为600-650mT，温度为250℃，所述第一灰化步骤的时间为45秒。
4.如权利要求2所述的灰化的方法，其特征在于，所述第二灰化步骤中氧化气体的流量为9000-9500sccm/min，所述第二灰化步骤的压力为600-650mT，温度为250℃，时间为45秒。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200710094490.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：有源磁悬浮轴向性能测试仪
- 下一篇：新型电冰箱及其控制方法
