[发明专利]预处理TEM样品以及对样品进行TEM测试的方法有效
| 申请号： | 200710094500.6 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458180A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 张启华;周晶;苏婕;于会生 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N13/10;G01B21/00;H01L21/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 预处理 tem 样品 以及 进行 测试 方法 | ||
1.一种预处理TEM样品的方法，其特征在于，在样品表面形成与样品表面结合紧密、且不与样品表面的物质发生反应的有机物膜层，所述有机物膜层为聚乙烯醇缩甲醛膜、Crystal bond粘合剂、Tempfix安装胶、快速固定环氧胶、M-bond膜和热溶胶的一种；所述有机物膜层的形成方法为：
将样品放置在容器中，并在所述容器中加入水溶液；
将所述有机物加入易挥发的有机溶剂中，形成含有所述有机物的溶液，将所述有机物溶液滴加在水溶液表面，等待所述有机溶剂挥发后，在水溶液表面形成所述有机物的膜层；
将所述样品从容器中转移出，使所述的有机物膜层转移到样品表面；
烘干所述样品以及样品表面的有机物膜层。
2.根据权利要求1所述预处理TEM样品的方法，其特征在于，所述有机物膜层的厚度为0.1μm～1μm。
3.根据权利要求2所述预处理TEM样品的方法，其特征在于，所述有机物膜层的厚度为0.4μm～0.7μm。
4.一种对样品进行TEM测试的方法，包括：在样品表面形成与样品表面结合紧密、且不与样品表面的物质发生反应的有机物膜层，所述有机物膜层为聚乙烯醇缩甲醛膜、Crystal bond粘合剂膜、Tempfix安装胶膜、快速固定环氧胶膜、M-bond膜和热溶胶膜的一种；通过透射电子显微镜对所述样品进行测试；所述有机物膜层的形成方法为：
将样品放置在容器中，并在所述容器中加入水溶液；
将所述有机物加入易挥发的有机溶剂中，形成含有所述有机物的溶液，将所述有机物溶液滴加在水溶液表面，等待所述有机溶剂挥发后，在水溶液表面形成所述有机物的膜层；
将所述样品从容器中转移出，使所述的有机物膜层转移到样品表面；
烘干所述样品以及样品表面的有机物膜层。
5.根据权利要求4所述对样品进行TEM测试的方法，其特征在于，所述有机物膜层的厚度为0.1μm～1μm。
6.根据权利要求5所述对样品进行TEM测试的方法，其特征在于，所述有机物膜层的厚度为0.4μm～0.7μm。
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