[发明专利]化学机械研磨及其终点检测方法有效
| 申请号： | 200710094521.8 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101456151A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 李健 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B49/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 及其 终点 检测 方法 | ||
1.一种化学机械研磨方法，其特征在于，包括：
确定检测参数，所述检测参数为反射率或电流值；
执行主研磨操作，获得所述检测参数与时间的函数关系；
获得所述函数的N次导数函数，N大于1；
在所述N次导数函数取极值之时或之后，执行过研磨操作。
2.根据权利要求1所述的化学机械研磨方法，其特征在于：所述极 值为至少一个极小值及/或至少一个极大值中的一个。
3.根据权利要求2所述的化学机械研磨方法，其特征在于：所述极 值为获得的第一个极小值或第一个极大值。
4.一种化学机械研磨终点检测方法，其特征在于，包括：
确定检测参数，所述检测参数为反射率或电流值；
在主研磨操作中，获得所述检测参数与时间的函数关系；
获得所述函数的N次导数函数，N大于1；
确定所述N次导数函数的极值和过研磨操作持续时间；
所述N次导数函数取极值之时或之后，再经历所述过研磨操作持续 时间到达研磨终点。
5.根据权利要求4所述的化学机械研磨终点检测方法，其特征在于： 所述极值为至少一个极小值及/或至少一个极大值中的一个。
6.根据权利要求4所述的化学机械研磨终点检测方法，其特征在于： 所述极值为获得的第一个极小值或第一个极大值。
7.根据权利要求4所述的化学机械研磨终点检测方法，其特征在于： 根据所述极值对应的时间确定所述过研磨操作持续时间。
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