[发明专利]自动排水装置及自动排水方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种自动排水装置及自 动排水方法。

背景技术

在半导体制造过程中需要各种各样的设备，且各个设备往往都具有 多个管路分别与各个气路、排风、排水系统相连。这就导致在半导体的 制造车间(Fabrication)内，拥挤着多种复杂的管路，如何合理安置这些 管路是布置半导体制造车间的关键问题之一。

尤其是其中的部分管路内部常会产生少量的冷凝水，如果在设计该 类管路时安排不合理，管路内的冷凝水无法排出，一定时间后，将会造 成该管路不畅，影响生产的正常进行。

为确保管路中的冷凝水排出，现有的一种解决方法是在进行管路安 置时，在管路的最低端设置排水点(利用重力作用令管路中的冷凝水由 排水点流出)，但是，该种方法要求排水点位于最低端，对管路的设置要 求较高，对于包含众多管路的制造车间而言，实现起来较为困难。

另一种解决方法是在管路上加装机械泵，利用泵的压力将管路内存 在的冷凝水排出，但是，该种方法需要加装置额外的机械泵等装置(通 常还会需要配套地加装感应器、控制器等)，成本较高，所需的能源也较 大(能源转换率较低)。

图1为现有的自动排水装置的示意图，如图1所示，排水阀主体102的 上端为其与管路相连的入口101，下端为其与管路相连的出口103，为了 实现自动排水控制，需要实时了解排水阀主体102内的冷凝水量，在其上 安装了感应装置111，该感应装置111可以通过感应排水阀主体102内的水 位或压力信息而获得排水阀主体102内的水量信息，并将该感应信息传送 至控制装置112内。当控制装置112由该感应信息判断出需进行排水时， 由其控制电磁阀113及机械泵114开启，将排水阀主体102内聚集的冷凝水 抽出。

在上述现有的自动排水装置中，虽然因机械泵114的存在，可以允许 管路的末端位于更高的位置，提高了车间内管路安排的灵活性，但是， 其的结构较为复杂，需要加入的辅助装置较多，成本较高；且其利用机 械泵排出冷凝水的转换效率较低，通常8公斤的压缩空气才能转换出5公 斤左右的压力来排出冷凝水。

为简化上述自动排水装置，2005年5月25日授权的公告号为 CN2702081Y的中国专利中公开了一种纯机械的自动排水装置，其利用装 有弹簧的逆止构件，依靠罐内空气压力的改变进行排水，具有结构简单 的特点，但其的排水通道狭窄、排水量少，且排水动作频繁，故障率较 高，并不实用。

发明内容

本发明提供一种自动排水装置及自动排水方法，以改善现有自动排 水装置结构较为复杂、能量转换效率较低的现象。本发明不仅局限于半 导体制造领域，还可以应用于其它领域，如机械加工领域等，以较好地 解决其所应用的各设备的管路内排出冷凝水的问题。

本发明提供的一种自动排水装置，包括排水主体，其中，所述排水 主体开有第一进气口、第一进水口和排水口，且该自动排水装置还包括 与所述排水主体相连的水量感应装置，所述水量感应装置感应所述排水 主体中的水量，当水量未达到一定程度时，令所述排水主体的第一进气 口处于关闭状态；当水量达到一定程度时，令所述排水主体的第一进气 口处于开启状态，利用气压力将所述排水主体中的水由所述排水口中排 出。

可选地，所述水量感应装置包括位于所述排水主体内的浮子，所述 浮子包括感应所述排水主体内水量且根据水量进行运动的浮子体，以及 在浮子体带动下控制第一进气口与第一进水口开启或关闭的浮子头。

可选地，所述自动排水装置还具有与所述排水主体相连的排水塞； 所述排水塞还与浮子头相连，随着浮子头的转动分别开启或关闭所述排 水主体的第一进气口与第一进水口。

可选地，所述自动排水装置还具有与所述排水主体相连的排水塞； 所述浮子头由所述排水主体内延伸至所述排水塞内；

在所述排水塞内、与浮子头相接触的区域的侧壁内开有纵向的开 槽；在所述浮子头的外侧壁上具有卡块，卡置于所述排水塞上的开槽内， 并可沿所述开槽移动，令所述排水塞随着所述浮子的转动而转动；

所述排水塞上还开有贯穿所述排水塞顶部与底部的通路，所述通路 随着排水塞的转动，分别与所述排水主体上的第一进气口与第一进水口 相连通。

可选地，所述自动排水装置还具有与所述排水主体相连的排水塞； 所述浮子头由所述排水主体内延伸至所述排水塞内；