[发明专利]微型探针导向装置的制造方法以及微型探针单元

权利要求书

1.一种微型探针导向装置的制造方法，其为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于，

包括通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。

2.一种微型探针导向装置的制造方法，在轴部的某一部位具有定位用凸部的保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法中，其特征在于：

包括第一项工序和第二项工序，第一项工序，通过非均质蚀刻在基板上形成微型探针导向凹槽，其中，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深；

第二项工序，在金属板的微型探针导向槽槽底的某一部位，形成与微型探针用凸部相对应的凹陷或开口。

3.一种微型探针导向装置的制造方法，其为一种保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法，其特征在于：

包括通过非均质蚀刻在硅基板上形成微型探针导向凹槽的工序，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深。

4.一种微型探针导向装置的制造方法，在轴部的某一部位具有定位用凸部的保护细长微型探针的微型探针导向装置的制造方法中，其特征在于：

包括第一项工序和第二项工序，第一项工序，通过非均质蚀刻在硅基板上形成微型探针导向凹槽，其中，该微型探针导向凹槽具有与微型探针宽度相对应的槽宽、以及为该槽宽2倍以上的槽深，

第二项工序，在基板的微型探针导向槽槽底的某一部位，形成与微型探针用凸部相对应的凹陷或开口。

5.一种微型探针单元，其具有微型探针和微型探针导向装置，并且，微型探针单元分别将微型探针导入各个微型探针导向槽；

微型探针呈细长状，且具有高度是宽度2倍以上的矩形剖面的轴部；

微型探针导向装置整列配置有多个微型探针导向槽，该种微型探针导向槽具有与微型探针的轴部矩形剖面宽度相对应的槽宽、以及与轴部矩形剖面高度相对应的槽深。

6.根据权利要求5所述的微型探针单元，其特征在于，

微型探针进一步在其轴部的某一部位设有定位用凸部；

微型探针导向装置也进一步在微型探针导向槽槽底的某一部位，设有与微型探针的定位用凸部相对应的凹陷或开口。

7.根据权利要求5所述的微型探针单元，其特征在于，

微型探针为一种两端弯曲型的微型探针，该微型探针的一侧端相对于轴部倾斜并延伸，从而形成一侧端部；另一侧端相对于轴部朝向与上述一侧端倾斜方向相反的方向倾斜并延伸，从而其前端形成另一侧端部；

微型探针导向装置具有与两端弯曲型微型探针的轴部长度相对应的凹槽长度；由凹槽的一侧端相对于槽底，在下侧露出微型探针的弯曲的一侧端部；由凹槽的另一端相对于槽底，在上侧露出微型探针的弯曲的另一侧端部。

8.根据权利要求6所述的微型探针单元，其特征在于，

微型探针为一种两端弯曲型的微型探针，该微型探针的一侧端相对于轴部倾斜并延伸，而形成一侧端部；另一侧端相对于轴部朝向与上述一侧端倾斜方向相反的方向倾斜并延伸，从而其前端形成另一侧端部；

微型探针导向装置具有与两端弯曲型微型探针的轴部长度相对应的凹槽长度；由凹槽的一侧端相对于槽底，在下侧露出微型探针的弯曲的一侧端部；由凹槽的另一端相对于槽底，在上侧露出微型探针的弯曲的另一侧端部。

9.根据权利要求7所述的微型探针单元，其特征在于，

相对于微型探针的轴部一侧端部的前端高度与相对于轴部的另一侧端部的高度相比，只因微型探针导向装置的厚度部分而有所不同。

10.根据权利要求8所述的微型探针单元，其特征在于，

相对于微型探针的轴部一侧端部的前端高度与相对于轴部的另一侧端部的高度相比，只因微型探针导向装置的厚度部分而有所不同。

11.根据权利要求5所述的微型探针单元，其特征在于，

微型探针导向装置为一种具有多个微型探针导向凹槽的硅基板。