[发明专利]可分离式侦测视窗以及侦测系统

权利要求书

1.一种可分离式侦测视窗，适于装设在等离子体反应室的侧壁上，该可分离式侦测视窗包括：

底座，该底座具有第一结合部；以及

中空管件，该中空管件的一端具有第二结合部，

其中该底座与该中空管件通过该第一结合部与该第二结合部的连接而组合成该可分离式侦测视窗。

2.如权利要求1所述的可分离式侦测视窗，其中该第一结合部为凹陷部，而该第二结合部为对应的凸起部。

3.如权利要求2所述的可分离式侦测视窗，其中该第一结合部与该第二结合部的形状包括圆形、椭圆形、矩形、锯齿形、齿轮状或多边形。

4.如权利要求1所述的可分离式侦测视窗，其中该第一结合部与该第二结合部分别设有螺纹槽。

5.如权利要求1所述的可分离式侦测视窗，其中该第一结合部是由部分该底座向内弯折所形成的凹陷部，而该第二结合部置入该第一结合部且旋转一角度，会使该第一结合部与该第二结合部卡合。

6.如权利要求1所述的可分离式侦测视窗，其中该底座的材质为透明材料。

7.如权利要求1所述的可分离式侦测视窗，其中该中空管件的材质为透明材料。

8.如权利要求1所述的可分离式侦测视窗，其中该中空管件与该底座的材质相同或不同。

9.如权利要求1所述的可分离式侦测视窗，还包括垫圈，设置于该中空管件与该底座之间。

10.一种侦测系统，适于应用在设置有等离子体反应室的机台中，该侦测系统至少包括：

可分离式侦测视窗，设置在该等离子体反应室的侧壁上，该可分离式侦测视窗包括：

底座，该底座具有第一结合部；以及

中空管件，该中空管件的一端具有第二结合部，

其中该底座与该中空管件通过该第一结合部与该第二结合部的连接而组合成该可分离式侦测视窗；

侦测元件，配置于该等离子体反应室外部；以及

光纤管，该光纤管的一端连接该可分离式侦测视窗，其另一端耦接该侦测元件。

11.如权利要求10所述的侦测系统，其中该第一结合部为凹陷部，而该第二结合部为对应的凸起部。

12.如权利要求11所述的侦测系统，其中该第一结合部与该第二结合部的形状包括圆形、椭圆形、矩形、锯齿形、齿轮状或多边形。

13.如权利要求10所述的侦测系统，其中该第一结合部与该第二结合部分别设有螺纹槽。

14.如权利要求10所述的侦测系统，其中该第一结合部是由部分该底座向内弯折所形成的凹陷部，而该第二结合部置入该第一结合部且旋转一角度，会使该第一结合部与该第二结合部卡合。

15.如权利要求10所述的侦测系统，其中该底座的材质为透明材料。

16.如权利要求10所述的侦测系统，其中该中空管件的材质为透明材料。

17.如权利要求10所述的侦测系统，其中该中空管件与该底座的材质可相同或不同。

18.如权利要求10所述的侦测系统，还包括垫圈，设置于该中空管件与该底座之间。

19.如权利要求10所述的侦测系统，还包括护板，设置于该等离子体反应室侧壁，且覆盖该可分离式侦测视窗。