[发明专利]角速度传感器

说明书

技术领域

本发明大体上涉及一种角速度传感器，更具体地涉及一种具有多个音叉式振动器的角速度传感器。

背景技术

角速度传感器检测旋转的角速度，并且用于避免由于手运动而导致图像模糊，并应用于诸如汽车导航系统、机动车、机器人姿态控制系统等系统。日本专利申请特开平9-292229号公报(以下称为文献1)公开了一种配备有多个柱状振动器的角速度传感器。日本专利No.3418245(以下称为文献2)公开了一种检测多个轴线并以两点支承柱状振动器的角速度传感器。上述柱状或棒状振动器被称作音杆式振动器。另外，国际公报No.WO 03/100350(以下称为文献3)公开了一种音叉式振动器，其具有基部以及从该基部延伸的多个臂部。

音杆式振动器不能相对于外部振动调整振动平衡来抵消振动。因此，若如文献1和文献2中所述在一个外壳中布置两个音杆式振动器，那么在各音杆式振动器中由外部振动引起的不必要振动(泄漏振动)会彼此干涉(干涉噪音)，并会使角速度的检测精度变差。此外，音杆式振动器在固有振动频率下具有窄的不动区。如果在各音杆式振动器中支承不动区之外的区域，那么其中一个音杆式振动器的驱动振动会传播到另一音杆式振动器，从而会产生干涉噪音并且角速度的检测精度会变差。另外，由于整个音杆式振动器振动，所以有必要以两点支承音杆式振动器。因此，难以保持两个支承部的位置精度或平衡。

同时，音叉式振动器具有这样的构造，其中左右臂部抵消了外部振动。在具有多个音叉式振动器的角速度传感器中，这可防止角速度的检测精度变差并防止干涉噪音。但是，即使在具有多个音叉式振动器的角速度传感器中，对干涉噪音的抑制也不充分。

发明内容

鉴于上述情况做出了本发明，并且本发明提供了一种角速度传感器，其可以减少多个音叉式振动器之间的干涉噪音。

根据本发明的一方面，提供了一种角速度传感器，该角速度传感器包括多个音叉式振动器，这之中的每个音叉式振动器分别包括基部和从该基部延伸的多个臂部，并且所述多个音叉式振动器之间的臂部长度差至少为所述多个音叉式振动器的臂部长度的平均值的百分之一。因此，可以减少多个音叉式振动器之间的干涉噪音。

附图说明

下面将参照附图详细描述本发明的示例性实施例，其中：

图1是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器的立体图；

图2A是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器的顶视图；

图2B是本发明第一示例性实施例中采用的角速度传感器中的音叉式振动器和支承部的立体图；

图3A和图3B是表示音叉式振动器的表面上的电极图案的图；

图4A和图4B是表示音叉式振动器的振动模式的图；

图5是表示相对于两个音叉式振动器的臂部长度差的干涉噪音的曲线图；

图6A和图6B是本发明第二示例性实施例中采用的角速度传感器的立体图；

图7A和图7B是说明本发明第三示例性实施例中采用的角速度传感器的图；

图8A和图8B是本发明第四示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；

图9A到图9D是表示在本发明第一到第四示例性实施例中采用的角速度传感器上进行热冲击试验的结果的图；

图10A到图10C是本发明第五示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；

图11A到图11D是本发明第六示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；

图12A到图12C是本发明第七示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图；

图13是表示本发明第八示例性实施例中采用的角速度传感器中的音叉式振动器的图；以及

图14A到图14C是本发明第八示例性实施例中采用的角速度传感器中的支承部的图。

具体实施方式

下面将参照附图描述本发明的示例性实施例。

(第一示例性实施例)